Beschaffung eines Upgrades von ELPHY Quantum auf ELPHY Plus

Stammdaten

Auftraggeber

Universität Siegen, Siegen

Veröffentlicht

17.03.2025

Notice-Typ

Vergabeergebnis

Verfahrensart

Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb

CPV-Code

42990000 — Industrie- und Baumaschinen

Branche

IT & Digitalisierung

Rechtsgrundlage

EU-Oberschwelle

Beschreibung

Das am Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF) betriebene Lithographie-Anbau-Kit ELPHY Quantum von Raith wird derzeit im Helios NanoLab 600 SEM/FIB-System der Universität Siegen eingesetzt und dient der Strukturierung von elektronenstrahlempfindlichem Lack im nanoskaligen Bereich. Es ist vorgesehen, dieses Kit für den Betrieb an einem der neuen, von der DFG-geförderten SEM/FIB-Systeme von Thermo Fisher, welche in dem neuen Forschungsgebäude INCYTE der Universität Siegen betrieben werden sollen, auf ELPHY Plus aufzurüsten. Die Elektronenstrahl-Lithografie-Funktionalität in Form von ELPHY Plus steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung.

Vergabe-Status

Vergabe-Status

Auftrag vergeben

Vertragsabschluss

11.03.2025

Verfahrensverlauf — alle 2 Veröffentlichungen

• Direktvergabe-Ankündigung
• Vergabeergebnis

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster, Münster

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.

Bieter (1)

• RAITH GmbH (Dortmund)