Vergabeergebnis
Elektrolyseur Lehr- und Versuchanlage
KI Die Hochschule Schmalkalden vergibt die Lieferung einer kompakten, alleinstehenden Elektrolyse-Forschungs- und Lehranlage für Experimente und Lehrdemonstrationen.
Vergeben
Bildung & Forschung
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UVgO (Unterschwelle)
Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Megaschall Reinigungsanlage für Einzelwafer , einschließlich Schulung
Hochschule Schmalkalden · Schmalkalden
- Status
- Vergeben
- Auftragswert
- nicht veröffentlicht
- Verfahren
- Vergabeverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb (national)
- Veröffentlicht
- 26.10.2026
Vergabe-Ergebnis
SPS-Europe B. V.; 3882 TS Putten; Netherlands
Auftragnehmer
Hinweis: Nicht alle Kerndaten wurden publiziert — die Vergabestelle hat diese Bekanntmachung ohne Vertragswert veröffentlicht.
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Das Wichtigste auf einen Blick
KI-generiert- Gegenstand ist eine Megaschall-Reinigungsanlage für Einzelwafer mit Vakuum-Chuck, Megasonic-Generator (mindestens 50 W) und Steuerung mit Rezepturspeicher für mehr als 1000 Rezepte.
- Die Anlage muss im Reinraumlabor, Gebäude B der Hochschule Schmalkalden, installiert und in Betrieb genommen werden; eine eintägige Schulung vor Ort ist eingeschlossen.
- Lieferung erfolgt frei Haus bis zum ebenerdigen Aufstellort im Erdgeschoss; die Türöffnung ist auf 1900 mm Höhe und 1400 mm Breite begrenzt, und im Reinraum gibt es eine Engstelle von 1200 mm Breite.
- Verpackungsmaterial und eine Transportversicherung müssen laut Bekanntmachung im Angebot enthalten sein; eine Gewährleistung von mindestens 12 Monaten ist im Angebotspreis einzurechnen.
- Praktischer Hinweis: Die Bekanntmachung verlangt die Einhaltung aller spezifizierten Anforderungen, und Abweichungen können zum Ausschluss führen. Eine Besichtigung vor Ort ist laut Ausschreibung bei Bedarf möglich.
KI-generierte Zusammenfassung der Bekanntmachung (KI-Transparenz) — maßgeblich ist die Original-Bekanntmachung.
Beschreibung
Das Leistungsverzeichnis beschreibt die zu erfüllenden Anforderungen. Die
spezifizierten Anforderungen im Angebot sind einzuhalten. Bei Nichterfüllung einer
spezifizierten Anforderung des Leistungsverzeichnisses kann das Angebot in der
Ausschreibung nicht berücksichtigt werden.
Das Megasonic-Reinigungssystem für Einzelwafer mit einer Größe von bis zu 200 mm
Durchmesser muss die folgenden Anforderungen erfüllen.
Grundsystem-Komplettes Reinigungssystem als Tischlösung oder Standardgerät mit
einer Stellfläche von weniger als 9 qm.
Sicherheitseinrichtungen-Flüssigkeitsfilter, Deckelverriegelung, Vakuumsensor
Chemikalieneignung-Wasser, DI-Wasser, milde Säurelösungen, milde Lösungsmittel
Zentrale Steuereinheit-mit Touchscreen und Rezepturspeicher mehr als 1000 Rezepte
für das Schleudern von Wafern-langsames Schleudern zum Reinigen und schnelles
Schleudern zum Trocknen, kann vom Megaschall-Controller getrennt sein
Zusätzliche Steuerungen-Steuergerät mit Software für pneumatische Ventile für
Reinigungschemikalien
Automatische Injektionsleitung für Reinigungschemikalien, einschließlich
pneumatischer Ventile mit einer Mindestgröße von ¼Zoll-einschließlich Überdruck-
Ventil
Dosierpumpe für Reinigungschemikalien angeschlossen an die zentrale Steuereinheit
Vakuum-Chuck-geeignet für 4-, 5-, 6-und 8-Zoll-Wafer, vergleichbare quadratische
Substrate und Substartstücke mit einer Größe von 0,5 cm x 0,5 cm und größer
Megasonic-Generator-Leistung mindestens 50 W
Megasonic-Aktuator-Transducer-für die Montage von überdrehbaren Wafern mit
einer aktiven Fläche von 200 mm, geringem Abstand zum Wafer kleiner als 3 cm und
Saphir-Oberfläche
Montage-Montagesatz für den Aktuator Wandler
Ablauf-und Abluftanschlüsse, passend zum Megaschall-Reinigungssystem und
flexibel für bezgl. Montage 100mm Abluftrohrdruchmesser, Chemikalienentsorgung
Kanister, Wasser-Standardabflussrohr-genauer für die Flüssigkeiten Wellschlauch-
Polypropylen min. 1,5 m, passend für Abflussöffnung der Anlage2 Exemplare
Vakuumpu
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Auftragnehmer SPS-Europe B. V.; 3882 TS Putten; Netherlands1 Veröffentlichung
- 26.10.2026 Original-Veröffentlichung aktuell
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