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PR726476 - Lithography Process Support for Two Lithography Layers

Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS

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Beschreibung

We are seeking proposals for lithography process support for two lithography layers. The project involves utilizing 193nm (ArF) or 248nm (KrF) lithography technology for the first layer to expose structures of a minimum of 150nm. For the first lithography layer two possible mask options are required. The provider will be responsible for photoresist, exposure, and development processes, including metrology. For the second lithography layer, i-Line lithography technology can be used since dimensions for that layer are at least 450 nm. The provider will again handle the mentioned steps (see figure 1). The entire project must adhere to the protocol zones for wafer processing (Front End of Line) as per SEMI Standard. PR726476 - Lithography Process Support for Two Lithography Layers

KI-Eignungsanalyse

KI-generiert

Branche: IT & Digitalisierung

Gesucht wird ein Dienstleister für Lithografie-Prozessunterstützung für zwei Lithografie-Ebenen.

Dies umfasst die Nutzung von 193nm (ArF) oder 248nm (KrF) Lithografietechnologie für die erste Ebene (mind. 150nm Strukturgröße) und i-Line Lithografie für die zweite Ebene (mind.

Weitere Eignungskriterien: Der Anbieter ist für Fotolack, Belichtung, Entwicklung und Messtechnik verantwortlich und muss SEMI-Standards für Wafer-Verarbeitung einhalten.

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Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung Sie sind hier

  2. Wertung

    nach Angebotsabgabe

  3. Vergabeergebnis

    Vergabeergebnis noch nicht veröffentlicht

Preiseinschätzung

Basierend auf 2.145 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 171.780 €
Median 391.506 €
Oberes Quartil 805.922 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Ausgelaufen). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de:

Diese Vergabe ist abgeschlossen. Aktuelle, noch offene Ausschreibungen in dieser Branche:

Stammdaten
Verfahrensart Öffentliche Ausschreibung (national)
Schwierigkeit Mittel
Veröffentlicht 29.05.2024
CPV-Code 50
Reparatur und Instandhaltung (Was ist das?)
Erfüllungsort 01109 Dresden
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Vergabe-Status (?)
Vergabeergebnis liegt uns nicht vor
Veröffentlicht vor 764 Tagen, keine Frist und kein Ergebnis erfasst.

Ø Bieter in der Branche 2.8

Historischer Durchschnitt aus 116.168 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.


Erfasste Abschluss-Meldungen 90%

Anteil der erfassten Verfahren in IT & Digitalisierung mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 18.088 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.


Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 27 Tage
Schätzwert-Abweichung -17%
KMU-Bieteranteil 74%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche
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Vergabeunterlagen erhalten Sie über die in der Bekanntmachung angegebene Vergabeplattform des Auftraggebers Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS. Oberhalb der EU-Schwellenwerte ist die elektronische Einreichung über eVergabe-Plattformen (z. B. Vergabe.NRW, DTVP, evergabe-online.de, HAD) Pflicht.

Erweiterte Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 3/5 Kernfelder

Nicht in der Bekanntmachung: Angebotsfrist · Auftragswert

Zuletzt geprüft am 02.06.2026

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