AusschreibungsRadar

Stammdaten

Auftraggeber: Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
Veröffentlicht: 25.07.2024
Notice-Typ: Ausschreibung
CPV-Code: 38000000-5 — Labor-, optische und Präzisionsgeräte
Branche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Rechtsgrundlage: UVgO (Unterschwelle)

Beschreibung

Es handelt sich nicht um ein Vergabeverfahren! Es ist eine unverbindliche Informationsabfrage, die allein der Markterkundung gemäß § 20 Unterschwellenvergabeverordnung (UVgO) dient. Das Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts beabsichtigt den Kauf eines Mask-Aligners mit nachfolgenden Spzifikationen: Der Mask Aligner muss alle Werkzeuge enthalten, die zur Steuerung des gesamten Mikrofabrikationsprozesses vom Laden der Wafer bis zur Belichtung erforderlich sind. Im Einzelnen: - Maskenhalter zum Laden von 5" und 7" quadratischen Chrom-Fotomasken und flexiblen Film-Fotomasken - Ein einzelner Probenhalter zum Laden von Substraten unterschiedlicher Größe, einschließlich Siliziumwafern bis zu 6“ - Ein Ausrichtungssystem mit einer XYZ-Substratverschiebungsauflösung von weniger als 0,5 µm zur Steuerung der Maskenposition relativ zum Substrat mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von 1 µm. - Ausgestattet mit einer UV-LED-Quelle (Wellenlänge 365±5 nm), die im kontinuierlichen oder gepulsten Modus arbeitet und eine qualitativ hochwertige Kollimation (Divergenzwinkel von weniger als 2º) bietet, mit der Auflösungen von bis zu 1 µm erreicht werden können, ohne dass ein Vakuumkontaktmodus erforderlich ist, und mit einer homogenen Belichtung (±5% Abweichung) über einen Bereich von 6“. - Ein Antivibrationstisch für den stabilen Betrieb des Instruments Sofern Sie die oben beschriebene Leistung anbieten können, bitten wir um Zusendung aussagekräftiger Unterlagen und Referenzen bis spätestens 06.08.2024, 12:00 Uhr. Mask aligner system, UV exposure system

Vergabe-Status

Vergabe-Status: Vergabeergebnis liegt uns nicht vor

Hinweis zur Verwendung: Dieser Auszug fasst die zum Erstellungszeitpunkt verfügbaren Daten zur Vergabe zusammen. Quelle der Daten ist oeffentlichevergabe.de (Beschaffungsamt des BMI), vermittelt durch AusschreibungsRadar. Der Auszug ist eine unverbindliche Aufbereitung öffentlich zugänglicher Bekanntmachungen und keine Urkunde im Sinne der ZPO. Für rechtsverbindliche Zwecke ist immer die Original-Bekanntmachung unter dem oben angegebenen Permalink heranzuziehen. Daten können sich nach dem Erstellungszeitpunkt geändert haben (Folgeversionen, Stornierungen, Korrekturen).