Plasma-Ätzanlage zur Reinigung von Wafern

a) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Name des Auftraggebers: NaMLab gGmbH; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64 a; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland; E-Mail: einkauf@namlab.com; Telefonnummer: +49 35121249900; Internetadresse: www.namlab.com; Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o.; Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. b) Vergabeart: Freihändige Vergabe mit Teilnahmewettbewerb c) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden; Anschrift, an die die Angebote elektronisch zu übermitteln sind: www.evergabe.de d) Art und Umfang der Leistung: Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung einer neuen, nicht gebrauchten trockenchemischen Plasma-Ätzanlage zur Reinigung von Wafern von Photoresist-Resten z.B. mit einem Sauerstoffplasma, und zur Aktivierung von Oberflächen für eine weitere Prozessierung. Die Plasma-Ätzanlage muss zu den für eine CMOS-Prozessierung üblichen Standards kompatibel sein und Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm prozessieren können. Es ist eine Ausführung als Tischgerät (table top) oder als Standgerät (standalone) möglich. Die Ätzanlage soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an die Partikelfreiheit sowie die in der Ausschreibung genannten Spezifikationen erfüllen.; Orte der Leistungserbringung: Offizielle Bezeichnung: NaMLab gGmbH; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64 a; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland e) Ggf. Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: entfällt, da keine losweise Vergabe f) Nebenangebote sind nicht zugelassen g) Ausführungsfrist: Beginn: 16.01.2026; Ende: 30.06.2026 h) Die Vergabeunterlagen werden auf der Vergabeplattform evergabe.de bereitgestellt. i) Teilnahmefrist: 15.12.2025, 13:00 Uhr j) Höhe etwa geforderter Siche