Anbindung TGA u.a. Medien

a) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Name des Auftraggebers: NaMLab gGmbH; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64 a; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland; E-Mail: einkauf@namlab.com; Telefonnummer: +49 35121249900; Internetadresse: www.namlab.com; Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o.; Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. b) Vergabeart: Öffentliche Ausschreibung c) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden; Anschrift, an die die Angebote elektronisch zu übermitteln sind: www.evergabe.de d) Art und Umfang der Leistung: Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung der nötigen Komponenten sowie deren Installation für die Versorgung von 5 Forschungsanlagen: einer Ionenstrahl - Sputteranlage, zwei Schnellheißöfen, einer Plasma gestützten Reinigungsanlage und eines chemisch mechanischen Poliertools, zur Prozessierung u.a. von Proben und Siliziumwafern. Die Prozessanlagen stehen und die Installationen sollen im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden erfolgen. Bei den zu installierenden Medien und deren Anschluss an die Forschungsanlagen handelt es sich um verschiedene technische Gase wie Argon, Wasserstoff, Stickstoff, SF6 u.a. Gase, dazugehörige Entnahmestellen und Gasverteilerboxen und eine Gasreinigungsstation (optional), und weiter um die Druckluftversorgung, die Abluft, die Vakuumversorgung, Kühlwasser, DI-Wasser und Abwasser. Es ist ein Drucktest und eine Dichtigkeitskontrolle bzw. ein He-Lecktest durchzuführen und zu dokumentieren. Die Anforderungen an die Partikelfreiheit im Reinraum als auch in den Anlagen aufgrund der CMOS-Anforderungen der beabsichtigen Prozessierungen sowie die in der Anlage 4a beschriebenen Spezifikationen sind zu erfüllen. Die Installation erfolgt im bestehenden Bestand, so dass diverse Randbedingun