AusschreibungsRadar

Stammdaten

Auftraggeber: Fraunhofer ENAS
Veröffentlicht: 13.07.2026
Frist (Submission): 27.07.2026
Notice-Typ: Ausschreibung
Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung (national)
Branche: Bauwesen & Infrastruktur
Rechtsgrundlage: VOL (Lieferungen/DL)

Beschreibung

Die Beschaffung beinhaltet den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool mit einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und 2 PVD-Kammern. Es sollen die Gase Ar, N2( 6.0), N2 (5.0), O2, He und Druckluft installiert werden, als auch 4 Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen und die Einbindung davon in die Abluft. Für He muss zusätzlich ein Druckminderer-Tableau aufgebaut werden. Für die anderen Gase werden bestehende Gasleitungen genutzt und erweitert, zusätzliche Druckminderer-Tableaus sind nicht notwendig. Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung

Vergabe-Status

Vergabe-Status: Vergabeergebnis liegt uns nicht vor

Verfahrensverlauf — alle 3 Veröffentlichungen

Ausschreibung · Frist: 27.07.2026
Wertung
Vergabeergebnis

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