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Automatisiertes Cluster Depositionstool
Universität Stuttgart · Stuttgart · Baden-Württemberg · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
Vergabe-Ergebnis
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Los 1 VergebenAutomatisiertes Cluster Depositionstool🏆 Korvus Technology Ltd · High Wycombe, Bucks
- Korvus Technology Ltd · High Wycombe, Bucks
Bieter-Übersicht: 5 Angebote eingegangen, 1 Bieter namentlich publiziert — im Vergabeergebnis werden üblicherweise nur die Auftragnehmer genannt.
Beschreibung
Automatisiertes Dünnschicht-Clustertool
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Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Preis 30 Pkt.
Das günstigste Angebot erhält 30 Punkte, Berrechnung: max. Punkte - (max. Punkte *(Preis-günstigster Preis)/günstigsten Preis )
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Weitere Quellen 30 Pkt.Qualität
Für die folgenden, zusätzlich zu den Mindestanforderungen im Angebot enthaltenen Sputter- und Verdampferquellen für Kammer (4) werden bis zu maximal 30 weitere Punkte vergeben. - Je zusätzlicher Sputterquelle (maximal 2 Quellen) -Sollte eine der Sputterquellen "Soft-Sputtering"* ermöglichen, werden weitere zehn Punkte vergeben (maximal eine Quelle) -Je zusätzlicher Niedertemperaturquelle (max. 2 Quellen) -Je zusätzlicher Hochtemperaturquelle (max. 2 Quellen) *"soft sputtering" bedeutet, dass die Probe vor dem Einfluss hochenergetischer/reaktiver Ionen aus dem Sputterplasma geschützt ist. Die Effektivität dieser Methoden ist nachzuweisen (z.B. über Referenzmessungen).
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Separate Kammern für Sputtern und LT-Verdampfen 20 Pkt.Qualität
Aus Kostengründen haben wir erlaubt, dass TCO-Sputtern, sowie Hoch- und Niedrigtemperatur-verdampfung in Kammer (4) zusammengelegt werden können. Sollte das Angebot aber darüber hinaus jeweils eine separate Kammer für Sputtern und Hoch-temperaturverdampfen von Metallen, sowie eine separate Kammer für die Niedrigtemperatur-verdampfung von organischen Schichten vorsehen, werden weitere vergeben.
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Erweiterte Funkitonen 20 Pkt.Qualität
"Zusätzlich zu den oben erwähnten Punkten werden für folgendes Zubehör weitere Punkte bis maximal 20 Punkte vergeben: -Möglichkeit zur Reinigung der Kammern (z.B. über Ausheizen, Plasma, etc.) 5 Punkte -Automatischer Maskentausch mittels des Verteilroboters 10 Punkte -Temperaturkontrolle für das regenerierte Inertgas an der Prep-GB mit Kühlleistung mindestens 2 kW thermisch 5 Punkte" - Reinigung oder Temperaturkontrolle allein 5 Maskentausch allein oder Reinigung+Temperaturkontrolle 10 "Maskentausch + Reinigung oder Maskentausch + Temperaturkontrolle" 15 -Alle erfüllt 20
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht
Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist. Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Telefax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Eingegangene Angebote
Dies sind die je Los eingegangenen Angebotswerte. Wer den Zuschlag erhalten hat, steht im Vergabe-Ergebnis oben bzw. im Vergabe-Status (Sidebar) — die einzelnen Angebote sind in der Bekanntmachung jedoch keinem namentlichen Bieter zugeordnet.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung
Angebote werden eingeholt
1 Veröffentlichung
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Vergabeergebnis Sie sind hier
Auftrag wurde zugeschlagen · 79 Tage nach Fristende
Auftragnehmer Korvus Technology LtdZuschlagswert 1.347.500 €1 Veröffentlichung
- 04.09.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
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