Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

Notice-ID: 33590ebc-a8dd-4ccd-a7e7-8a22ae99d653 · Procedure-ID: 70f04a7e-7918-4924-ba27-74c775dac2a1

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Stammdaten

Auftraggeber: Universität Duisburg-Essen, Duisburg
Veröffentlicht: 30.09.2026
Frist (Submission): 30.10.2026
Notice-Typ: Ausschreibung
Verfahrensart: Offenes Verfahren
CPV-Code: 51000000 — Installationsdienste
Branche: Sonstiges
Rechtsgrundlage: EU-Oberschwelle
KMU-geeignet: Ja (laut Auftraggeber-Angabe)

Beschreibung

1. Allgemeine Beschreibung: Die Universität Duisburg-Essen erforscht Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Zur Durchführung der Forschungsarbeiten wird eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Herstellung von III-Nitrid Halbleiter Bauelementen muss die vorhandene Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) der Firma Aixtron (Seriennummer CS17580) für aktuelle und kommende Forschungsprojekte teilweise erneuert und erweitert werden. Erneuert werden folgende Komponenten: - Die Prozesspumpe - Der Showerhead Gaseinlass - 4x Rückschlagventile Die Erweiterung umfasst Leitungen für die Quellmaterialien Triethylboran und Ethen, welche in die Anlage integriert werden müssen. Dazu sind für jedes Material entsprechende Arbeiten am Gasversorgungssystem (engl. gas panel) durchzuführen. Die Materialien werden durch entsprechende Fluss- und Druckregler kontrolliert in den Reaktor geführt (detailliert in der technischen Beschreibung aufgeführt). Die vollständige Beschreibung ist der Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Vertragslaufzeit

Periode: 6 Monate

Verfahrens-Bedingungen

Bindefrist: 39 Tage

Vergabe-Status

Vergabe-Status: Verfahren laufend

Verfahrensverlauf — alle 3 Veröffentlichungen

Ausschreibung · Frist: 30.10.2026
Wertung
Vergabeergebnis

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer Westfalen, Münster

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.

Hinweis zur Verwendung: Dieser Auszug fasst die zum Erstellungszeitpunkt verfügbaren Daten zur Vergabe zusammen. Quelle der Daten ist oeffentlichevergabe.de (Beschaffungsamt des BMI), vermittelt durch AusschreibungsRadar. Der Auszug ist eine unverbindliche Aufbereitung öffentlich zugänglicher Bekanntmachungen und keine Urkunde im Sinne der ZPO. Für rechtsverbindliche Zwecke ist immer die Original-Bekanntmachung unter dem oben angegebenen Permalink heranzuziehen. Daten können sich nach dem Erstellungszeitpunkt geändert haben (Folgeversionen, Stornierungen, Korrekturen).