AusschreibungsRadar — Verfahrensauszug

Quelle: oeffentlichevergabe.de (https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ/documents) · Abgerufen am 12.09.2026 08:02 über https://ausschreibungsradar.com/ausschreibung/3e3d3348-95e9-412e-abbd-3eac3f140c72/

ALD-Anlage

Notice-ID: 3e3d3348-95e9-412e-abbd-3eac3f140c72 · Procedure-ID: 57f11d62-9298-47b4-ba2c-1f6ddc1f276c

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Stammdaten

Auftraggeber
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V., Jena
Veröffentlicht
26.08.2026
Frist (Submission)
01.09.2026
Notice-Typ
Ausschreibung
Verfahrensart
Offenes Verfahren
CPV-Code
38000000 — Labor-, optische und Präzisionsgeräte
Branche
Bildung & Forschung
Geschätzter Wert
461.344 €
Rechtsgrundlage
EU-Oberschwelle

Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Vertragslaufzeit

Beginn
28.08.2026
Ende
05.09.2027

Verfahrens-Bedingungen

Bindefrist
40 Tage
Bürgschaft
erforderlich

Vergabe-Status

Vergabe-Status
Vergabeergebnis liegt uns nicht vor

Verfahrensverlauf — alle 3 Veröffentlichungen

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer Thüringen, Weimar

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.

Hinweis zur Verwendung: Dieser Auszug fasst die zum Erstellungszeitpunkt verfügbaren Daten zur Vergabe zusammen. Quelle der Daten ist oeffentlichevergabe.de (Beschaffungsamt des BMI), vermittelt durch AusschreibungsRadar. Der Auszug ist eine unverbindliche Aufbereitung öffentlich zugänglicher Bekanntmachungen und keine Urkunde im Sinne der ZPO. Für rechtsverbindliche Zwecke ist immer die Original-Bekanntmachung unter dem oben angegebenen Permalink heranzuziehen. Daten können sich nach dem Erstellungszeitpunkt geändert haben (Folgeversionen, Stornierungen, Korrekturen).