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Softwareplattform für medizinische Forschungsdaten - PR1120438 - 3360 - I
KI Gesucht wird eine Softwareplattform für medizinische Forschungsdaten.
IT-Dienstleistungen
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Sonstiges
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Lieferauftrag
EU-Oberschwelle
Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München · Bayern · Öffentliches Unternehmen
Angebote bis 07.12.2026, 08:00 Uhr (noch 25 Tage)
- Teilnahme- bzw. Angebotsfrist
- 07.12.2026, 08:00 Uhr
- noch 25 Tage
- Laufzeit
- 120 Tage
- Erfüllungsort
- Dresden
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Zu den Vergabeunterlagen
auf vergabe.fraunhofer.de
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Beschreibung
1x Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) Die folgende Gerätespezifikation definiert die Anforderungen an ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Critical-Dimension-Strukturen (CD), Schichtdicken und Cu-Dishing auf 300-mm- und 200-mm-Wafern. Diese Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte, zerstörungsfreie Messung kleinerer Strukturgrößen und der Oberflächentopografie. Das Messgerät ist unverzichtbar für die Prozesskontrolle bei der Herstellung fortschrittlicher Gehäuse und Verbindungen, einschließlich der Charakterisierung von Cu-Strukturen mit Strukturgrößen im Submikrometerbereich nach dem CMP-Prozess in hochintegrierten, auf Chiplets basierenden 2,5D/3D- und quasi-monolithischen Gehäusearchitekturen. Das Gerät ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln, die eine starke Verformung (Warp/Bow) aufweisen. Als Wafer-Substrate kommen Silizium und/oder Glas mit Dicken von bis zu 2,5 mm zum Einsatz. Vor der Bearbeitung werden die Wafer in Front-Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die der Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen setzt. Das neue Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: - Laden der vorgesehenen Wafer aus den FOUPs - Ausführen der Messaufgaben - Zurückbringen der Wafer an ihre ursprünglichen Positionen in den FOUPs Die Rezeptprogrammierung muss ein ausreichend breites Spektrum an Optionen und Parametern unterstützen, um den Anforderungen in Forschung und Entwicklung (F&E) gerecht zu werden. Es wird vorausgesetzt, dass die Anlage die vorgesehenen Funktionen kontinuierlich, ohne Unterbrechungen oder Ausfälle und in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen ausführt. Darüber hinaus muss die Anlage mit allen unten beschriebenen Komponenten geliefert werden, die erforderlich sind, damit sie die vorgesehenen Funktionen und Leistungsmerkmale in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument fest
Vollständige Beschreibung (2.038 Zeichen)
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KI-Kurzfassung der Anforderungen
KI-generiertBranche: Sonstiges
Das Wichtigste auf einen Blick
- Gegenstand ist die Lieferung eines vollautomatischen In-line-Messsystems für OCD- und dimensionale Formmetrologie mit der Bezeichnung IZM-133.3.
- Es handelt sich um ein Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb, in dem Angebote nach Teilnahmeantrag verhandelt werden.
- Erfüllungsort der Lieferung ist Dresden in Sachsen; der Auftraggeber sitzt in München.
- Angaben zu Losen, Eignungsnachweisen, Fristen und Vergabeunterlagen sind in der vorliegenden Bekanntmachung nicht enthalten und sollten direkt beim Auftraggeber angefragt werden.
Die Fraunhofer-Gesellschaft (Einkauf B12, München) schreibt die Lieferung eines vollautomatischen In-line-Messsystems für optische Streuungsmessung (OCD) und dimensionale Formmetrologie (IZM-133.3) im Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb aus; Erfüllungsort ist Dresden.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert von einem KI-Modell erstellt — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung
Zweistufiges Verfahren (Bewerberlimitierung)
Mindestens 3 Bewerber
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Technische Beschreibung 65 %Qualität
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Preis 35 %
Preis inkl. aller Optionen
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Anforderungen an Bieter (Eignung)
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit
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Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit
1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen der Ausschlussgründe nach §123 und §124 GWB
2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014
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Finanzkennzahlen (Bilanz)
Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
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Dieses Kriterium ist NICHT das einzige Eignungskriterium. Die vollständigen Eignungskriterien finden Sie hier:https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1a15db67cb1-61d408c4190e42e0
Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
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Referenzen (vergleichbare Bauleistungen)
Referenz von mindestens 45 in Betrieb genommenen Geräten im Bereich der OCD-Metrologie mit vergleichbarer tech-nologischer Funktionalität nicht älter als drei Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Pflichtangabe zur Wafergröße 200/300mm, Kundennennung). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Kunden nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftragge-ber (Forschung, Industrie, andere öffent-liche Auftraggeber) und bestätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausge-schriebenen Leistung vergleichbar sind.
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Durchschnittliche Personalstärke
Darstellung der Firma
Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht
--> Alle Angaben bitte in Textform; KEINE Links oder Bilder
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Welche Nachweise verlangt diese Ausschreibung?
Diese Ausschreibung verlangt Nachweise zu Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit. Mit einem kostenlosen Firmenprofil stellen wir die veröffentlichten Zahlen Ihren Angaben gegenüber (Zahlenvergleich) — bei jeder Ausschreibung mit strukturierten Eignungskriterien. Die Entscheidung bleibt bei Ihnen. 14 Tage voller Zugang, keine Kreditkarte.
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Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
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Nachforderung fehlender Unterlagen möglich
Der Auftraggeber darf fehlende, unvollständige oder fehlerhafte Unterlagen nachfordern (§ 56 VgV).
- Elektronische Rechnung (eRechnung) zugelassen
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Besondere Bedingungen für die Auftragsausführung
Der Auftrag ist an zusätzliche Ausführungsbedingungen geknüpft (§ 128 GWB) — Details in den Vergabeunterlagen.
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EU-gefördertes Vorhaben
eu-funds
Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
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Wertung
nach Ablauf der Angebotsfrist
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Vergabeergebnis
Vergabeergebnis noch nicht veröffentlicht
Preiseinschätzung
Basierend auf 42 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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