Reaktives Ionenätzen

Stammdaten

Auftraggeber

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, Erlangen

Veröffentlicht

27.08.2026

Frist (Submission)

11.09.2026

Notice-Typ

Ausschreibung

Verfahrensart

Offenes Verfahren

CPV-Code

31720000 — Elektrische Ausrüstung

Branche

IT & Digitalisierung

Rechtsgrundlage

EU-Oberschwelle

Beschreibung

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.

Vertragslaufzeit

Beginn

13.10.2026

Ende

21.06.2027

Verfahrens-Bedingungen

Bindefrist

31 Tage

Eilverfahren

Ja — verkürzte Mindestfristen

Vergabe-Status

Vergabe-Status

Verfahren laufend

Verfahrensverlauf — alle 3 Veröffentlichungen

• Ausschreibung · Frist: 11.09.2026
• Wertung
• Vergabeergebnis

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern, Ansbach

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.