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Laserlithographie
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · Köln · Nordrhein-Westfalen · Nachgeordnete Behörde
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Beschreibung
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Das Wichtigste auf einen Blick
- Beschaffung einer Laserlithographie-Anlage für die Mikrotechnologie-Prozesskette.
- Die Anlage dient der direkten Lithographie auf Zielsubstraten und der Herstellung von UV-Lithographiemasken.
- Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage; Medien und Peripherien werden separat bereitgestellt.
- Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.
Beschaffung einer Laserlithographie-Anlage für die Mikrotechnologie-Prozesskette zur Herstellung kompakter Quantensysteme.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung Sie sind hier noch 25 Tage
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- Frist 03.08.2026 Original-Veröffentlichung aktuell
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Wertung
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Vergabeergebnis
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Preiseinschätzung
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