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Ionenstrahltrimanlage
Universität Paderborn · Paderborn · Nordrhein-Westfalen · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
Vergabe-Ergebnis
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Los 1 VergebenIonenstrahltrimanlage🏆 scia Systems GmbH · Chemnitz
- scia Systems GmbH · Chemnitz
Beschreibung
Ausgeschrieben wurde eine Ionenstrahltrimmanlage, die im Reinraum des PhoQSLabs der Universität Paderborn betrieben werden soll. Dort wird es die Aufgabe der Maschine sein, photonisch integrierte Schaltkreise in der Dicke zu trimmen. Weiterhin soll die Anlage unterschiedlichste Wafer auf Dicke trimmen, sodass weniger als 1nm Dickenabweichung pro Wafer realisiert werden können.
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Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Qualitätskriterien 70 Pkt.Qualität
Bewertungskriterien der Leistungsbeschreibung
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Wertungsbruttopreis 30 Pkt.Preis
inkl. sämtlicher möglicher Nachlässe
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht
1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt. 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden. 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden. 4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wolle, eingehen.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Eingegangene Angebote
Dies sind die je Los eingegangenen Angebotswerte. Wer den Zuschlag erhalten hat, steht im Vergabe-Ergebnis oben bzw. im Vergabe-Status (Sidebar) — die einzelnen Angebote sind in der Bekanntmachung jedoch keinem namentlichen Bieter zugeordnet.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung
Angebote werden eingeholt
1 Veröffentlichung
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Vergabeergebnis Sie sind hier
Auftrag wurde zugeschlagen · 42 Tage nach Fristende
Auftragnehmer scia Systems GmbHZuschlagswert 922.245 €1 Veröffentlichung
- 23.01.2026 Original-Veröffentlichung aktuell
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