AusschreibungsRadar — Verfahrensauszug

Erstellt am 12.06.2026 10:59 · Quelle: https://ausschreibungsradar.com/ausschreibung/a0a8563f-b2f3-428f-bc82-46774a742c8e/

Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUVBestrahlung (LAB-MEMS)

Notice-ID: a0a8563f-b2f3-428f-bc82-46774a742c8e · Procedure-ID: 80b561fe-aa45-4f8d-ab4d-0861a388da9d

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Stammdaten

Auftraggeber
Fraunhofer Gesellschaft e.V., München
Veröffentlicht
17.11.2025
Notice-Typ
cont-modif
CPV-Code
73100000 — Forschung und Entwicklung
Branche
Bildung & Forschung
Rechtsgrundlage
Sonstige Rechtsgrundlage

Beschreibung

Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUVBestrahlung (LAB-MEMS)

Vergabe-Status

Vertragsänderung
Modifikation aufgrund unvorhersehbarer Umstände
Vertragsabschluss
11.11.2025
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