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Sputtercluster
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · Köln · Nordrhein-Westfalen · Zusammenschluss öffentlicher Auftraggeber
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Beschreibung
Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung beinhaltet eine Kombi-Gerät mit Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage (ion beam etching IBE). Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Beschaffung von Sputteranlagen für die Mikrostrukturierung im Reinraum, inklusive Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätztechnologie für Substrate bis 150 mm Durchmesser.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Preis nach Wichtigkeit
50 %
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Qualität nach Wichtigkeit
Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
4 Veröffentlichungen
- Frist 19.05.2025 Original-Veröffentlichung · in TED EU + oev
- Frist 12.05.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
- Frist 21.04.2025 Original-Veröffentlichung
- Frist 31.03.2025 Original-Veröffentlichung
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Vergabeergebnis
Auftrag wurde zugeschlagen · 72 Tage nach Fristende
Auftragnehmer (5) INTLVAC INC · Bürkle Anlagenbau GmbH · Hitachi High Technologies Europe GmbH · MS4-Analysentechnik GmbH · HEIDEN power GmbH1 Veröffentlichung
Preiseinschätzung
Basierend auf 126 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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