Kauf, Lieferung und Installation eines Röntgenphotoelektronenspektrometers

1. Leistungsverzeichnis Die Lieferung muss im Kalenderjahr 2026 erfolgen. Die geforderten Spezifikationen des kompletten Systems (Neugerät) werden im Folgendem aufgelistet Geräteanforderungen Das Röntgenphotoelektronenspektrometer-Messsystem (XPS) muss über eine mikro-fokussierte, monochromatische Al K-Röntgenquelle mit einer in mindestens 5 µm-Schritten einstellbaren Spotgröße von 10 - 400 µm und einer mit 12 keV Betriebsspannung betriebenen Elektronenquelle verfügen. Die Maximalleistung bei 400 µm-Spotgröße muss bei mindestens 120 W liegen und der Betrieb über Hochspannungs-, Kühlwasser-, Vakuum- und mechanische Interlocks abgesichert sein. Die Aluminium-Anode muss wassergekühlt sein und motorisiert mehr als 20 Betriebspositionen anfahren können. Das verwendete Spektrometer muss einen doppelfokussierter 180°-Halbkugelanalaysator mit mindestens 125 mm Radius aufweisen und einen positionsempfindlichen Detektor mit mindestens 128 Kanälen und Messlinearität bis zu 6,5 Mcps nutzen. Dabei müssen die Betriebsmodi konstante Analysatorenergie, XPS-Mapping durch Rastern mit dem Röntgen-Mikrospot, Snapshot-Modus (Live-Spektrum im Rahmen der Detektionskanäle) und Imaging-Modus (laterale Intensitätsverteilung bei vorgegebener Photoelektronenenergie) auswählbar sein. Für die Messung von elektrisch isolierenden Proben muss eine koaxiale Dualstrahl-Ladungskompensation (Kombination aus positivem Ionenstrahl mit Energie unterhalb der Sputterschwelle und koaxial umgebenden Elektronenstrahl) zur Verfügung stehen. Eine optische Probenbetrachtung in Reflexionsanordnung soll die hochaufgelöste Ansicht der aktuellen Analyseposition aus Analysatorperspektive gewährleisten. Die Probenbeleuchtung muss sowohl in Betrachtungsrichtung als auch in verkippter Anordnung möglich sein, um sowohl glatte als auch raue Proben gut erfassen zu können. Zudem soll in der Probenschleuse die Aufnahme eines Probenhalter-Fotos als Grundlage für die automatische Probennavigation möglich sein. Für die Ver