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Maskless Aligner
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Erlangen · Bayern · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
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Beschreibung
In our research group, nanoscopic superconducting circuits are created using lithographic processes on 4-inch wafers. The structures are currently created on photomasks in a fixed design and then transferred to the substrate using photolithography. In order to significantly accelerate the design process of the superconducting circuits, we want to write the structures directly onto the substrate in the future using a maskless aligner.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Bildung & Forschung
Beschaffung eines Maskless Aligner zur direkten Strukturierung von nanroskopischen supraleitenden Schaltkreisen auf 4-Zoll-Wafern für Forschungsprozesse.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Preis 60 %
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Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog 40 %Qualität
https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/be1efe43-853e-4ecd-b9bd-14a37d41f5c4/awardcriteria
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
1 Veröffentlichung
- Frist 05.06.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
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Vergabeergebnis
Auftrag wurde zugeschlagen · 46 Tage nach Fristende
Auftragnehmer Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH1 Veröffentlichung
Preiseinschätzung
Basierend auf 37 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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