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Lieferauftrag EU-Oberschwelle

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder) · Brandenburg · Nachgeordnete Behörde

Status
Vergeben
Auftragswert
nicht veröffentlicht
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Veröffentlicht
04.11.2026

Vergabe-Ergebnis

🏆 Vergabe in 1 Los alle vergeben
  • Los 1 Vergeben
    Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
    🏆 SFI Solutions for Instruments GmbH · Allershausen
Auftragnehmer
  • SFI Solutions for Instruments GmbH · Allershausen
Eingegangene Angebote 1
Zuschlagsdatum 21.09.2026

Hinweis: Nicht alle Kerndaten wurden publiziert — die Vergabestelle hat diese Bekanntmachung ohne Vertragswert veröffentlicht.

⚡

Das Wichtigste auf einen Blick

KI-generiert
  • Gegenstand ist das Upgrade eines bestehenden 200-mm-Wolfram-CVD-Systems von Applied Materials auf die WxZ-Sprint-Konfiguration.
  • Vorgesehen sind Anpassungen am Gasverteilungssystem für einen gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozess sowie zusätzliche Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr.
  • Die Leistungen umfassen Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.
  • Es handelt sich um ein Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb für eine Lieferleistung mit CPV-Code 42990000 (Maschinen für besondere Zwecke).
  • Da der CPV-Code und der Gegenstand eine stark technische Halbleiteranlagen-Spezialisierung nahelegen, sollten Bieter den herstellerspezifischen Anlagenbezug prüfen.

KI-generierte Zusammenfassung der Bekanntmachung (KI-Transparenz) — maßgeblich ist die Original-Bekanntmachung.

Beschreibung

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

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Zuschlagskriterien

Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.

Los 1 · Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
  • Technische/Technologische Bewertung 70 Pkt.
    Qualität
  • Preis 30 Pkt.

    Berücksichtigung des Preises durch die Wertungsmethode "Preis-Quotient-Methode"

Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.

Vergabe- & Vertragsbedingungen

Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.

  • EU-gefördertes Vorhaben

    eu-funds

Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Ein Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der zuständigen Vergabekammer zu stellen (§ 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)). Die o. a. Fristen gelten nicht, wenn der Auftraggeber gemäß § 135 Absatz 1 Nr. 2 GWB den Auftrag ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist. Setzt sich ein Auftraggeber über die Unwirksamkeit eines geschlossenen Vertrages hinweg, indem er die Informations und Wartepflicht missachtet (§ 134 GWB) oder ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist, kann die Unwirksamkeit nur festgestellt werden, wenn sie im Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrages, jedoch nicht später als 6 Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht, endet die Frist 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union (§135 GWB).

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

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  1. Vergabeergebnis Sie sind hier TED EU

    Auftrag wurde zugeschlagen

    Auftragnehmer SFI Solutions for Instruments GmbH

    1 Veröffentlichung

    • 04.11.2026 Original-Veröffentlichung · in TED EU + oev aktuell

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Preiseinschätzung

Basierend auf 88 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 205.650 €
Median 349.683 €
Oberes Quartil 695.846 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Stammdaten
Vergabenummer IHP-2026-018
Verfahrensart Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Hoch KI
Standort Frankfurt (Oder), Brandenburg
Veröffentlicht 04.11.2026
CPV-Codes (2) 42990000 · Industrie- und Baumaschinen
31712100 · Elektrische Ausrüstung
(Was ist das?)
Angebote 1
entspricht Branchen-Schnitt (Ø 2,2)
Erfüllungsort Frankfurt (Oder)
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Angebotsspanne 118.025 – 118.025 €

Bieter (1)
SFI Solutions for Instruments GmbH · Allershausen

Alert für ähnliche Ausschreibungen
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Auftragnehmer (?)
SFI Solutions for Instruments GmbH
Vertrag 21.09.2026

Ø Bieter in der Branche 2.2
Methodik & Datenbasis

Historischer Durchschnitt aus 3.005 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.


Erfasste Abschluss-Meldungen 88%
Methodik & Datenbasis

Anteil der erfassten Verfahren in Sonstiges mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 2.708 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.


Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 24 Tage
Schätzwert-Abweichung -2%
KMU-Bieteranteil 30%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche
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Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie (MWAE), Potsdam

Hinweis zur Zuständigkeit

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Erweiterte Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 4/5 Kernfelder

Nicht in der Bekanntmachung: Zuschlagswert

Zuletzt geprüft am 05.11.2026

Daten korrigieren →

Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Vergeben). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de:

Diese Vergabe ist abgeschlossen. Aktuelle, noch offene Ausschreibungen in dieser Branche: