XYZ Phi stage for wafers up to 12 inches (IMS-06.1) & 6-Axis Hexapods + Controllers (IMS-06.2) - PR1046956-2380-P

Stammdaten

Auftraggeber

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München

Veröffentlicht

18.12.2025

Notice-Typ

Vergabeergebnis

Verfahrensart

Offenes Verfahren

CPV-Code

42990000 — Industrie- und Baumaschinen

Branche

IT & Digitalisierung

Rechtsgrundlage

EU-Oberschwelle

Beschreibung

IMS needs a semi-automatic test setup for fast characterization of photonic integrated circuits (PIC) and devices on a wafer scale. The setup consists of a six degree of freedom (6D) nanopositioning system and of a rotation stage. A six degrees of freedom (6D) nanopositioning system in photonics is used to precisely position optical fibers and fiber arrays, facilitating accurate optical coupling with photonic integrated circuits and devices. The precise control of six degrees of freedom (three Cartesian and three angular coordinates) ensures optimal alignment and efficient probing of photonic structures on wafers and dies. Two pieces of 6D nanopositioners are needed - one for the input and one for the output of the PIC. A rotation stage with positioning control able to carry wafers with a diameter of 300 mm is needed to enable experimental characterization of photonic integrated circuits (PIC) and devices on a wafer scale. The stage needs a precise positioning along four axes (xyz and θz) to enable efficient alignment of PIC and devices to optical and electrical probes.

Vergabe-Status

Vergabe-Status

Auftrag vergeben

Vertragsabschluss

18.12.2025

Verfahrensverlauf — alle 2 Veröffentlichungen

• Ausschreibung · Frist: 23.10.2025
• Vergabeergebnis

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammern des Bundes, Bonn

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.

Bieter (1)

• Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG (Karlsruhe)