AusschreibungsRadar

Stammdaten

Auftraggeber: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.
Veröffentlicht: 21.02.2024
Frist (Submission): 27.03.2024
Notice-Typ: Ausschreibung
Verfahrensart: Offenes Verfahren
CPV-Code: 31712100 — Elektrische Ausrüstung
Branche: Bauwesen & Infrastruktur
Geschätzter Wert: 980.000 €

Beschreibung

Anlage für die Atomlagenabscheidung (ALD) am Standort Villingen-Schwenningen. Die Atomlagenabscheidung ermöglicht die präzise Abscheidung von Dünnschichten aus einer breiten Palette von Materialien auf atomarer Ebene. Die Anlage muss für die zerstörungsfreie Bearbeitung von 100, 150 und 200mm Wafern gemäß SEMI/MESC Standard sowie kleiner Bauteile und 3D-Objekte geeignet sein. Die Anlage muss der Spezifikation entsprechen.

Vergabe-Status

Vergabe-Status: Vergabeergebnis liegt uns nicht vor

Verfahrensverlauf — alle 2 Veröffentlichungen

Ausschreibung · Frist: 28.03.2024
Vergabeergebnis

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