Prior Information Notice – Maskless Laser Lithography System
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
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Beschreibung
The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plans to procure a high-performance maskless laser lithography system within the framework of the EU-funded APECS programme. The system will be used for high-resolution patterning of semiconductor wafers to support the development of advanced heterointegration technologies, including InP- and GaAs-based chiplets. It is intended to enable rapid prototyping as well as efficient processing of wafers with diameters up to 200 mm. The equipment must provide sub-micron precision combined with high throughput and support modern multi-beam laser writing technologies. It will be installed in a cleanroom environment and must comply with ISO class 5 requirements. The procurement procedure is planned for 2026.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Das Wichtigste auf einen Blick
- Beschaffung eines maskenlosen Laserlithographiesystems für die Halbleiterwafer-Bearbeitung.
- Unterstützung der Entwicklung fortschrittlicher Heterointegrationstechnologien mit InP- und GaAs-basierten Chiplets.
- Anforderungen umfassen Sub-Mikron-Präzision, hohe Durchsatzrate und Unterstützung von Multi-Beam-Laser-Schreibtechnologien.
- Installation in einer Reinraumumgebung (ISO Klasse 5) für Wafer bis 200 mm Durchmesser.
- Geschätzter Wert: 510.000 EUR, geplante Vergabe 2026.
Das Ferdinand-Braun-Institut plant die Beschaffung eines maskenlosen Laserlithographiesystems für die Halbleiterwafer-Bearbeitung im Rahmen des EU-finanzierten APECS-Programms.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (TED EU). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
Preiseinschätzung
Basierend auf 78 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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