Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Inline XPS/XRF (IPMS-CNT03.1) - PR930836-2480-P

Stammdaten

Auftraggeber

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Veröffentlicht

28.07.2025

Notice-Typ

Ausschreibung

Verfahrensart

Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

CPV-Code

42990000 — Industrie- und Baumaschinen

Branche

Büro & Verwaltung

Beschreibung

1 Stück Inline XPS/XRF Ein Ultrahochvakuum-Röntgenphotoelektronenspektrometer, das mit einer monochromatischen Röntgenquelle, Sputter- und winkelaufgelöster XPS und Ladungskompensation ausgestattet ist. Dieses Röntgen-Photoelektronenspektrometer wird zur Charakterisierung von dünnen Filmen und Multilayern durch Analyse der Zusammensetzung und Stöchiometrie auf Silizium-Wafern mit einem Durchmesser von 300 und 200 mm verwendet. Dieses Röntgen-Photoelektronenspektrometer wird in-line im Reinraum eingesetzt. Optionale Leistungspositionen: 20.1 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Gewährleistungszzeit um weitere 12 Monate. ja / nein; Bitte als Option angeben 20.2 Zusätzlicher Röntgenstrahler Monochromated CrKα ja / nein; Bitte als Option angeben 20.3 Zusätzlicher Röntgenstrahler Monochromated AgLα ja / nein; Bitte als Option angeben 20.4 Zusätzliche Sputterquelle Argon-Cluster-Ionenquelle mit abstimmbarer Clustergröße ja / nein; Bitte als Option angeben 20.5 Ultraviolettquelle He I / He II Ultraviolettquelle zur Durchführung von Ultraviolett-Photoelektronenspektroskopie (UPS) ja / nein; Bitte geben Sie als Option an 20.6 Elektronenmikroskopie Raster-Auger-Mikroskopie (SAM) / Raster-Elektronenmikroskopie (SEM) mit abstimmbarem Energiebereich und einer Auflösung < 2 µm. ja / nein; Bitte als Option angeben 20.7 Streuspektroskopie Niederenergetische Ionenstreuspektroskopie (LEISS) für ultra-oberflächenempfindliche Analysen. ja / nein; Bitte als Option angeben

Verfahrensverlauf — alle 2 Veröffentlichungen

• Ausschreibung
• Vergabeergebnis