System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P

Notice-ID: ted-498425-2026 · Procedure-ID: 39ae1f38-6e14-4ef8-8536-cbcf238647a9

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Stammdaten

Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München
Veröffentlicht: 10.06.2026
Frist (Submission): 15.07.2026
Notice-Typ: Ausschreibung
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
CPV-Code: 42990000 — Industrie- und Baumaschinen
Branche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Rechtsgrundlage: EU-Oberschwelle

Beschreibung

1 Stück System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) Die Spezifikation beschreibt die Anforderungen an ein vollautomatisches Prozessgerät, das für Plasmaätzprozesse auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm eingesetzt werden soll. Die Systeme werden für die Bearbeitung von Silizium-CMOS-Wafern in einer Produktionsumgebung der Reinraumklasse 1000 (entspricht in etwa Klasse 6 nach EN ISO 14644-1) eingesetzt. Das neue Werkzeug soll zur Strukturierung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Silizium sowie in allen damit verbundenen erforderlichen Materialien (z. B. SiO₂, SiN) eingesetzt werden, um dieses Hauptziel zu erreichen. Optionale Positionen gemäß Technical Tender Specification.

Vertragslaufzeit

Periode: 23 Monate

Vergabe-Status

Vergabe-Status: Vergabeergebnis liegt uns nicht vor

Verfahrensverlauf — alle 3 Veröffentlichungen

Ausschreibung · Frist: 15.07.2026
Wertung
Vergabeergebnis

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammern des Bundes, Bonn

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.

Hinweis zur Verwendung: Dieser Auszug fasst die zum Erstellungszeitpunkt verfügbaren Daten zur Vergabe zusammen. Quelle der Daten ist oeffentlichevergabe.de (Beschaffungsamt des BMI), vermittelt durch AusschreibungsRadar. Der Auszug ist eine unverbindliche Aufbereitung öffentlich zugänglicher Bekanntmachungen und keine Urkunde im Sinne der ZPO. Für rechtsverbindliche Zwecke ist immer die Original-Bekanntmachung unter dem oben angegebenen Permalink heranzuziehen. Daten können sich nach dem Erstellungszeitpunkt geändert haben (Folgeversionen, Stornierungen, Korrekturen).