AusschreibungsRadar

Stammdaten

Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Veröffentlicht: 23.09.2025
Frist (Submission): 23.10.2025
Notice-Typ: Ausschreibung
Verfahrensart: Offenes Verfahren
CPV-Code: 42990000 — Industrie- und Baumaschinen
Branche: Energie & Umwelt

Beschreibung

1 Stück - XYZ Phi stage für Wafers bis 12 Zoll (IMS-06.1) 4 Stück - 6-Achsen Hexapods + Controllers (IMS-06.2) Semi-automatisches Test-Setup für advanced R&D Anwendungen Option 1 (LV Pos. 2.5): Netzwerk-Interface RS-232 und USB Option 2 (LV Pos. 5.3): Netzwerk-Interface RS-232 und USB Option 3 (LV Pos. 12.3): Netzwerk-Interface RS-232 und USB Option 4 (LV Pos. 14.1): Vibrationsisolierende Plattform/Tisch mit Möglichkeit, mindestens zwei 6D-Positionierungsstages sowie eine Rotationsstage mit XYZ-Positionskontrolle für 300-mm-Wafer gleichzeitig zu montieren.

Verfahrens-Bedingungen

Bindefrist: 61 Tage

Verfahrensverlauf — alle 2 Veröffentlichungen

Ausschreibung · Frist: 23.10.2025
Vergabeergebnis

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