Vergeben Gesundheitswesen & Medizintechnik
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Lieferauftrag EU-Oberschwelle

Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Universität Heidelberg

Status
Vergeben
Auftragswert
nicht veröffentlicht
Verfahren
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
08.10.2026

Vergabe-Ergebnis

🏆 Vergabe in 1 Los alle vergeben
  • Los 1 Vergeben
    Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage
    🏆 Oxford Instruments GmbH · Wiesbaden
Auftragnehmer
  • Oxford Instruments GmbH

Lot-Detail aus Schwester-Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (gleiche procedure_id).

Eingegangene Angebote 1

Hinweis: Nicht alle Kerndaten wurden publiziert — die Vergabestelle hat diese Bekanntmachung ohne Vertragswert veröffentlicht.

⚡

Das Wichtigste auf einen Blick

KI-generiert
  • Lieferung und betriebsfertige Übergabe eines ICP-PECVD-Systems zur Abscheidung von Materialfilmen.
  • Maximales Budget von 806.000 EUR (inkl. MwSt.) darf nicht überschritten werden.
  • Umfassende Leistung inklusive Lieferung, Aufstellung, Funktionstest, Einweisung, Abnahme und Schulung.
  • Angebote müssen die geforderten dielektrischen Schichten und Materialeigenschaften ermöglichen.

KI-generierte Zusammenfassung der Bekanntmachung (KI-Transparenz) — maßgeblich ist die Original-Bekanntmachung.

Beschreibung

Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung qualitativ hochwertiger Materialfilme mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Das geplante ICP-PECVD System soll die gezielte Abscheidung von dielektrische Dünnfilmen mit steuerbaren optischen Eigenschaften und präzise kontrollierbaren Schichtdicken durch in-situ Monitoring ermöglichen. Hochwertige dielektrische Schichten für optische Passivierungen, optische Wellenleiter und Mehrlagensysteme sowie als Hartmasken für hochauflösende Lithographieverfahren sollen abgeschieden werden. Im Rahmen unserer Forschungsarbeiten sollen Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphes Silizium und diamantähnliche Kohlenstoffschichten mit einer neuen Anlage optimiert abgeschieden werden können. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle. - Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen. - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.

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Zuschlagskriterien

Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.

Los 1
  • UfAB-Methode 100 Pkt.
    Qualität

    Bewertung nach der UfAB-Methode: Der Zuschlag wird gemäß § 127 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt. Im vorliegenden Fall erfolgt die Bewertung der Wirtschaftlichkeit auf Grundlage des Leistungs-Preis-Verhältnisses unter Anwendung der "Erweiterten Richtwertmethode" gemäß UfAB 2018.04 (Stand: April 2018). Das wirtschaftlichste Angebot wird dabei anhand folgender Formel ermittelt: Z(Angebot) = L / P = Leistungspunktzahl / Gesamtwertungspreis

Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.

Vergabe- & Vertragsbedingungen

Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.

Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht

Es wird ausdrücklich auf die Ausschlussfristen nach § 160 GWB hingewiesen: Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung oev

    Angebote werden eingeholt

  2. Vergabeergebnis Sie sind hier

    Auftrag wurde zugeschlagen · 3 Tage nach Fristende

    Auftragnehmer Oxford Instruments GmbH

    1 Veröffentlichung

    • 08.10.2026 Original-Veröffentlichung · in TED EU + oev aktuell

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Preiseinschätzung

Basierend auf 1.332 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 200.835 €
Median 305.590 €
Oberes Quartil 493.227 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Stammdaten
Vergabenummer Uni-HD.2026.642_Gasphasenabscheidungsanlage-ICP-PECVD_KIP
Verfahrensart Offenes Verfahren
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Mittel KI
Veröffentlicht 08.10.2026
CPV-Code 38000000
Labor-, optische und Präzisionsgeräte (Was ist das?)
Angebote 1
entspricht Branchen-Schnitt (Ø 1,9)
Erfüllungsort Heidelberg
Laufzeit 50 Wochen
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (TED EU) · ggf. archiviert
Alert für ähnliche Ausschreibungen
CSV Export →
Auftragnehmer (?)
Oxford Instruments GmbH

Ø Bieter in der Branche 1.9
Methodik & Datenbasis

Historischer Durchschnitt aus 4.846 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.


Erfasste Abschluss-Meldungen 84%
Methodik & Datenbasis

Anteil der erfassten Verfahren in Gesundheitswesen & Medizintechnik mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 19.427 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.


Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 15 Tage
Schätzwert-Abweichung -3%
KMU-Bieteranteil 31%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche
Preis-Kalkulator freischalten →


Vollständige Daten

Quelle: TED EU · 5/5 Kernfelder

Zuletzt geprüft am 10.10.2026

Daten korrigieren →

Quelle: TED EU

Diese Bekanntmachung stammt aus der EU-Datenbank Tenders Electronic Daily. Reduzierter Datenumfang (Titel, Auftraggeber, CPV, Frist). Für vollständige Dokumente und alle Sprachen:

Diese Vergabe ist abgeschlossen. Aktuelle, noch offene Ausschreibungen in dieser Branche:

Vergabestelle

Universität Heidelberg