Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb IT & Digitalisierung Bürgschaft erforderlich
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Lieferauftrag EU-Oberschwelle KMU-geeignet

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder) · Brandenburg · Nachgeordnete Behörde

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Beschreibung

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

KI-Eignungsanalyse

KI-generiert

Branche: IT & Digitalisierung

Das Wichtigste auf einen Blick

  • Upgrade eines 200 mm Wolfram CVD-Systems auf WxZ Sprint Konfiguration.
  • Anpassungen am Gasverteilungssystem und Integration zusätzlicher Hardware für höhere Depositionsdrücke.
  • Leistungen umfassen Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung.
  • Auftraggeber ist die IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder).

Gegenstand der Ausschreibung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems auf eine WxZ Sprint Konfiguration.

Dies beinhaltet Anpassungen am Gasverteilungssystem und die Integration zusätzlicher Hardware für höhere Depositionsdrücke. Die Leistungen umfassen Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung.

Weitere Eignungskriterien: Details in der vollständigen Analyse.

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Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung

Zweistufiges Verfahren (Bewerberlimitierung)

Mindestens 3 Bewerber · Zuschlag ohne Verhandlung möglich

Preiseinschätzung

Basierend auf 78 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 177.225 €
Median 345.000 €
Oberes Quartil 682.250 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

Quelle: oeffentlichevergabe.de

Bekanntmachung über die zentrale Vergabeplattform des Bundes. Vollständige Vergabeunterlagen und Angebotsabgabe auf der Original-Plattform der Vergabestelle:

Stammdaten
Vergabenummer IHP-2026-018
Verfahrensart Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Mittel
Standort Frankfurt (Oder), Brandenburg
Veröffentlicht 04.06.2026
CPV-Codes (2) 42990000 · Industrie- und Baumaschinen
31712100 · Elektrische Ausrüstung
(Was ist das?)
Erfüllungsort Frankfurt (Oder)
Rückfrage an die Vergabestelle stellen über die Bieterkommunikation im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de)
Ø Bieter in der Branche 2.2

Historischer Durchschnitt aus 20.832 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.


Erfasste Abschluss-Meldungen 90%

Anteil der erfassten Verfahren in IT & Digitalisierung mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 17.879 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.


Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 24 Tage
Schätzwert-Abweichung -2%
KMU-Bieteranteil 34%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche in Brandenburg
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Vergabeunterlagen erhalten Sie über die in der Bekanntmachung angegebene Vergabeplattform des Auftraggebers IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik. Oberhalb der EU-Schwellenwerte ist die elektronische Einreichung über eVergabe-Plattformen (z. B. Vergabe.NRW, DTVP, evergabe-online.de, HAD) Pflicht.

Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie (MWAE), Potsdam

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Erweiterte Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 3/5 Kernfelder

Nicht in der Bekanntmachung: Angebotsfrist · Auftragswert

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