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Lieferauftrag EU-Oberschwelle KMU-geeignet

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder) · Brandenburg · Nachgeordnete Behörde

Teilnahme- bzw. Angebotsfrist
07.07.2026, 12:00 Uhr
abgelaufen
Auftragswert
nicht veröffentlicht
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Veröffentlicht
04.06.2026

Diese Frist ist vorbei. Aktuell laufen 10 vergleichbare Ausschreibungen in „Industrie- und Baumaschinen" in Brandenburg, zum Beispiel:

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Beschreibung

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

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KI-Kurzfassung der Anforderungen

KI-generiert

Branche: IT & Digitalisierung

Das Wichtigste auf einen Blick

  • Upgrade eines 200 mm Wolfram CVD-Systems auf WxZ Sprint Konfiguration.
  • Anpassungen am Gasverteilungssystem und Integration zusätzlicher Hardware für höhere Depositionsdrücke.
  • Leistungen umfassen Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung.
  • Auftraggeber ist die IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder).

Gegenstand der Ausschreibung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems auf eine WxZ Sprint Konfiguration.

Dies beinhaltet Anpassungen am Gasverteilungssystem und die Integration zusätzlicher Hardware für höhere Depositionsdrücke. Die Leistungen umfassen Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung.

Weitere Eignungskriterien: Details in der vollständigen Analyse.

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Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

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Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung

Zweistufiges Verfahren (Bewerberlimitierung)

Mindestens 3 Bewerber · Zuschlag ohne Verhandlung möglich

Anforderungen an Bieter (Eignung)

Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.

Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit

  • Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit

    Eigenerklärung zur Eignung und Leistungsfähigkeit (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung):

  • Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit

    Unternehmensprofil (technische Schwerpunkte, Kernkompetenzen) (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung):

Technische & berufliche Leistungsfähigkeit

  • Werkzeuge, Anlagen, technische Ausrüstung

    Beschreibung der relevanten technischen Expertise (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung):

  • Referenzen (vergleichbare Lieferungen)

    Referenzen (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung): Mindestens 2-3 relevante Referenzprojekte im Bereich CVD-System-Upgrades oder
    Halbleiteranlagenmodifikationen

  • Technische Fachkräfte (Ausführung)

    Beschreibung des vorgesehenen Projektteams (optional in dieser Phase) (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung):

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Solche Anforderungen kommen wieder

Hier wurden Nachweise zu Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit verlangt. Für diese Ausschreibung ist die Frist vorbei — mit einem kostenlosen Suchprofil bekommen Sie vergleichbare Ausschreibungen am Tag der Veröffentlichung per E-Mail, statt sie Wochen später über eine Suchmaschine zu finden.

Vergabe- & Vertragsbedingungen

Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.

  • Nachforderung fehlender Unterlagen möglich

    Der Auftraggeber darf fehlende, unvollständige oder fehlerhafte Unterlagen nachfordern (§ 56 VgV).

  • Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
  • Besondere Bedingungen für die Auftragsausführung

    Der Auftrag ist an zusätzliche Ausführungsbedingungen geknüpft (§ 128 GWB) — Details in den Vergabeunterlagen.

  • EU-gefördertes Vorhaben

    eu-funds

Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Ein Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der zuständigen Vergabekammer zu stellen (§ 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)). Die o. a. Fristen gelten nicht, wenn der Auftraggeber gemäß § 135 Absatz 1 Nr. 2 GWB den Auftrag ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist. Setzt sich ein Auftraggeber über die Unwirksamkeit eines geschlossenen Vertrages hinweg, indem er die Informations und Wartepflicht missachtet (§ 134 GWB) oder ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist, kann die Unwirksamkeit nur festgestellt werden, wenn sie im Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrages, jedoch nicht später als 6 Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht, endet die Frist 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union (§135 GWB).

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung Sie sind hier

    Angebote werden eingeholt

    1 Veröffentlichung

    • Frist 07.07.2026 Original-Veröffentlichung aktuell
  2. Wertung

    Angebote werden geprüft

  3. Vergabeergebnis

    Vergabeergebnis liegt uns nicht vor — beim Auftraggeber direkt erfragen

Preiseinschätzung

Basierend auf 88 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 205.650 €
Median 349.683 €
Oberes Quartil 695.846 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Stammdaten
Angebotsfrist 07.07.2026, 12:00 Uhr (abgelaufen)
Vergabenummer IHP-2026-018
Verfahrensart Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Mittel KI
Standort Frankfurt (Oder), Brandenburg
Veröffentlicht 04.06.2026
CPV-Codes (2) 42990000 · Industrie- und Baumaschinen
31712100 · Elektrische Ausrüstung
(Was ist das?)
Erfüllungsort Frankfurt (Oder)
Frist für Rückfragen 26.06.2026
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Nebenangebote nicht zugelassen

Alert für ähnliche Ausschreibungen
CSV Export →
Vergabe-Status (?)
Vergabeergebnis liegt uns nicht vor
Bei Unterschwellenvergaben ist die TED-Veröffentlichung des Ergebnisses nicht zwingend — direkt beim Auftraggeber nachfragen.

Ø Bieter in der Branche 2.2
Methodik & Datenbasis

Historischer Durchschnitt aus 3.015 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.


Erfasste Abschluss-Meldungen 90%
Methodik & Datenbasis

Anteil der erfassten Verfahren in IT & Digitalisierung mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 20.213 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.


Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 24 Tage
Schätzwert-Abweichung -2%
KMU-Bieteranteil 30%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche
Preis-Kalkulator freischalten →


Vergabeunterlagen erhalten Sie über die in der Bekanntmachung angegebene Vergabeplattform des Auftraggebers IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik. Oberhalb der EU-Schwellenwerte ist die elektronische Einreichung über eVergabe-Plattformen (z. B. Vergabe.NRW, DTVP, evergabe-online.de, HAD) Pflicht.

Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie (MWAE), Potsdam

Hinweis zur Zuständigkeit

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Erweiterte Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 4/5 Kernfelder

Nicht in der Bekanntmachung: Auftragswert

Zuletzt geprüft am 25.07.2026

Daten korrigieren →

Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Frist abgelaufen). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de: