AusschreibungsRadar — Verfahrensauszug

Erstellt am 30.06.2026 23:39 · Quelle: https://ausschreibungsradar.com/ausschreibung/093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c/

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Notice-ID: 093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c · Procedure-ID: b76898b3-544e-4d24-9d52-90cc3c4bdc21

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Stammdaten

Auftraggeber
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder)
Veröffentlicht
04.06.2026
Frist (Submission)
07.07.2026
Notice-Typ
Ausschreibung
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
CPV-Code
42990000 — Industrie- und Baumaschinen
Branche
IT & Digitalisierung
Rechtsgrundlage
EU-Oberschwelle
KMU-geeignet
Ja (laut Auftraggeber-Angabe)

Beschreibung

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Verfahrens-Bedingungen

Bürgschaft
erforderlich

Vergabe-Status

Vergabe-Status
Verfahren laufend

Verfahrensverlauf — alle 3 Veröffentlichungen

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie (MWAE), Potsdam

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.

Hinweis zur Verwendung: Dieser Auszug fasst die zum Erstellungszeitpunkt verfügbaren Daten zur Vergabe zusammen. Quelle der Daten ist oeffentlichevergabe.de (Beschaffungsamt des BMI), vermittelt durch AusschreibungsRadar. Der Auszug ist eine unverbindliche Aufbereitung öffentlich zugänglicher Bekanntmachungen und keine Urkunde im Sinne der ZPO. Für rechtsverbindliche Zwecke ist immer die Original-Bekanntmachung unter dem oben angegebenen Permalink heranzuziehen. Daten können sich nach dem Erstellungszeitpunkt geändert haben (Folgeversionen, Stornierungen, Korrekturen).