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EU-Oberschwelle

UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage

Technische Universität Ilmenau · Ilmenau · Thüringen · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)

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Beschreibung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.

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KI-Eignungsanalyse

KI-generiert

Branche: Bildung & Forschung

Beschaffung eines UV-Lithografiesystems für die Mikro- und Nanotechnologieforschung der Technischen Universität Ilmenau.

Das System soll maskenbasierte Mehrebenenlithografie und Bondalignment für Substrate bis 150 mm Durchmesser ermöglichen. Der geschätzte Wert beträgt 442.000 EUR.

Weitere Eignungskriterien: Details in der vollständigen Analyse.

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Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung

Zweistufiges Verfahren (Bewerberlimitierung)

3–5 Bewerber zugelassen · Zuschlag ohne Verhandlung möglich

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung Sie sind hier

    Angebote werden eingeholt

    Geschätzter Wert 442.000 €

    1 Veröffentlichung

    • Frist 10.04.2024 Original-Veröffentlichung aktuell
  2. Vergabeergebnis

    Auftrag wurde zugeschlagen · 159 Tage nach Fristende

    Auftragnehmer EV Group E.Thallner GmbH
    Zuschlagswert 44.059 €

    1 Veröffentlichung

Preiseinschätzung

Basierend auf 1.134 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 201.315 €
Median 302.230 €
Oberes Quartil 489.589 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Frist abgelaufen). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de:

Auf oeffentlichevergabe.de ansehen → Portal-Deeplink (ggf. archiviert) →

Vergabestelle

Technische Universität Ilmenau · Ilmenau

✉ vergabestelle@tu-ilmenau.de
☎ 000

Website →

442.000 €
Geschätzter Wert
entspricht Branchen-Median (?)
Angebotsfrist 10.04.2024, 09:30 Uhr (abgelaufen)
Vergabenummer TU-014/24-201-ZMN
Verfahrensart Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Schwierigkeit Mittel
Auftraggeber Technische Universität Ilmenau
Standort Ilmenau, Thüringen
Veröffentlicht 05.03.2024
CPV-Code 38000000
Labor-, optische und Präzisionsgeräte (Was ist das?)
Erfüllungsort Ilmenau
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Nebenangebote nicht zugelassen
Ø Bieter in der Branche 2.1

Historischer Durchschnitt aus 44.940 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.

Erfasste Abschluss-Meldungen 89%

Anteil der erfassten Verfahren in Bildung & Forschung mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 13.850 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.

Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 15 Tage
Schätzwert-Abweichung -3%
KMU-Bieteranteil 34%
Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche in Thüringen
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Vergabeunterlagen erhalten Sie über die in der Bekanntmachung angegebene Vergabeplattform des Auftraggebers Technische Universität Ilmenau. Oberhalb der EU-Schwellenwerte ist die elektronische Einreichung über eVergabe-Plattformen (z. B. Vergabe.NRW, DTVP, evergabe-online.de, HAD) Pflicht.

Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt, Weimar

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Vollständige Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 5/5 Kernfelder

Zuletzt geprüft am 02.06.2026

Daten korrigieren →