UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Technische Universität Ilmenau · Ilmenau · Thüringen
Beschreibung
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Bildung & Forschung
Beschaffung eines UV-Lithografiesystems für die Mikro- und Nanotechnologieforschung der Technischen Universität Ilmenau.
Hinweis: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de.
Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung
3–5 Bewerber zugelassen · Zuschlag ohne Verhandlung möglich
Preiseinschätzung
Basierend auf 855 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
Verfahrensverlauf
Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Geschätzter Wert 442.000 €1 Veröffentlichung
- 05.03.2024 Original-Veröffentlichung aktuell
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Vergabeergebnis
Auftrag wurde zugeschlagen
Zuschlagswert 44.059 €1 Veröffentlichung
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