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UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Technische Universität Ilmenau · Ilmenau · Thüringen · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
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Los 1 VergebenUV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage🏆 EV Group E.Thallner GmbH · Neuhaus am Inn
- EV Group E.Thallner GmbH · Neuhaus am Inn
Beschreibung
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Qualität 50 %
50
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Preis 50 %
50
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
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EU-gefördertes Vorhaben
eu-funds
Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht
entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung
Angebote werden eingeholt
Geschätzter Wert 442.000 €1 Veröffentlichung
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Auftragnehmer EV Group E.Thallner GmbHZuschlagswert 44.059 €1 Veröffentlichung
- 16.09.2024 Original-Veröffentlichung aktuell
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Preiseinschätzung
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