AusschreibungsRadar — Verfahrensauszug
UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Stammdaten
- Auftraggeber
- Technische Universität Ilmenau, Ilmenau
- Veröffentlicht
- 16.09.2024
- Notice-Typ
- Vergabeergebnis
- Verfahrensart
- Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
- CPV-Code
- 38000000 — Labor-, optische und Präzisionsgeräte
- Branche
- Bildung & Forschung
- Zuschlagswert
- 44.059 €
- Rechtsgrundlage
- EU-Oberschwelle
Beschreibung
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.
Vergabe-Status
- Auftragnehmer
- EV Group E.Thallner GmbH
- Vertragsabschluss
- 21.08.2024
Verfahrensverlauf — alle 2 Veröffentlichungen
- Ausschreibung
- Vergabeergebnis
Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)
Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt, Weimar
Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.
Bieter (1)
- EV Group E.Thallner GmbH (Neuhaus am Inn)
Hinweis zur Verwendung: Dieser Auszug fasst die zum Erstellungszeitpunkt verfügbaren Daten zur Vergabe zusammen. Quelle der Daten ist oeffentlichevergabe.de (Beschaffungsamt des BMI), vermittelt durch AusschreibungsRadar. Der Auszug ist eine unverbindliche Aufbereitung öffentlich zugänglicher Bekanntmachungen und keine Urkunde im Sinne der ZPO. Für rechtsverbindliche Zwecke ist immer die Original-Bekanntmachung unter dem oben angegebenen Permalink heranzuziehen. Daten können sich nach dem Erstellungszeitpunkt geändert haben (Folgeversionen, Stornierungen, Korrekturen).