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ALD-Anlage
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Jena · Thüringen · Nachgeordnete Behörde
Angebote bis 11.08.2026, 13:10 Uhr (noch 11 Tage)
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Bildung & Forschung
Das Wichtigste auf einen Blick
- Liefergegenstand: Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) mit Steuer-PC, Monitor, Tastatur, Maus, Software-Lizenzen und Windows 11.
- Prozessanforderungen: Reproduzierbare Abscheidung von leitfähigen, halbleitenden und dielektrischen Schichten auf Substraten 5×5 mm² bis mindestens 150 mm Wafer, Multilagen-Prozessierung ohne Vakuumunterbrechung.
- Geschätzter Auftragswert: 461.344 EUR, offenes Verfahren, Erfüllungsort Jena.
- Bieter sollten technische Spezifikationen zur Prozessgenauigkeit, Schichtqualität und Systemzuverlässigkeit sowie Referenzen ähnlicher Anlagen nachweisen.
- Angebotserstellung sollte detaillierte Prozessparameter, Validierungsdaten und einen konkreten Lieferplan mit Inbetriebnahme-Support enthalten.
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien schreibt eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) zur Dünnschichtabscheidung aus, geschätzter Wert ca. 461.000 EUR.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert erstellt (Google Gemini) — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit
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Durchschnittlicher Jahresumsatz
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Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
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Referenzen (vergleichbare Lieferungen)
Als Nachweis zu den bestehenden Erfahrungen sind mind. 2 Referenzen, vorzugsweise aus dem Forschungsumfeld aus den vergangenen 3 Jahren zusammen mit dem Angebot einzureichen.
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Vergabe- & Vertragsbedingungen
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Nachforderung teilweise möglich
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- Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
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Besondere Bedingungen für die Auftragsausführung
Der Auftrag ist an zusätzliche Ausführungsbedingungen geknüpft (§ 128 GWB) — Details in den Vergabeunterlagen.
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EU-gefördertes Vorhaben
eu-funds
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Verfahrensverlauf
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Vergabeergebnis
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