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ALD-Anlage
Vergabe-Ergebnis
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Los 1 VergebenALD-Anlage🏆 SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH · Krailling
- SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Lot-Detail aus Schwester-Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (gleiche procedure_id).
Das Wichtigste auf einen Blick
KI-generiert- Beschaffung einer Plasma-gestützten Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für Dünnschichtabscheidung.
- Anforderungen umfassen reproduzierbare Abscheidung verschiedener Schichtarten und Multilagenprozesse ohne Vakuumunterbrechung.
- Lieferumfang beinhaltet Steuer-PC mit Software und Betriebssystem (Win 11).
- Geschätzter Wert der Ausschreibung beträgt 461.344 EUR.
- Bewerber müssen die Fähigkeit zur Prozessierung von Einzelchips bis zu 150 mm Wafern nachweisen.
KI-generierte Zusammenfassung der Bekanntmachung (KI-Transparenz) — maßgeblich ist die Original-Bekanntmachung.
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Änderungen am Verfahren
2 AktualisierungenDer Auftraggeber hat dieses Verfahren mehrfach aktualisiert — chronologisch, neueste zuerst.
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✏️ Änderung
Ergänzende Informationen
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📅 Frist verlängert
Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr
Maßgeblich ist stets die Original-Bekanntmachung beim Auftraggeber. Vollständiger Verfahrensverlauf →
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📅 Laufzeit endet am 05.09.2027
Laut Bekanntmachung läuft dieser Auftrag bis zum genannten Datum. Ob der Auftraggeber danach erneut vergibt, entscheidet allein er; die Angabe ist ein Anhaltspunkt für Ihre Vorbereitung, keine angekündigte Ausschreibung.
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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technische Spezifikationen 70 %Qualität
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Preis 30 %
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
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EU-gefördertes Vorhaben
eu-funds
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung oev
Angebote werden eingeholt
Geschätzter Wert 461.344 € -
Vergabeergebnis Sie sind hier
Auftrag wurde zugeschlagen · 21 Tage nach Fristende
Auftragnehmer SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbHZuschlagswert 461.344 €1 Veröffentlichung
- 22.09.2026 Original-Veröffentlichung · in TED EU + oev aktuell
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