AusschreibungsRadar

Stammdaten

Auftraggeber: Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS
Veröffentlicht: 30.10.2025
Notice-Typ: Ausschreibung
Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung (national)
Branche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Rechtsgrundlage: VOL (Lieferungen/DL)

Beschreibung

For an Ebara F-EX200M2 chemical-mechanical-polishing (CMP) system an integrated measurement system is needed. The CMP system is prepared with so called "NOVA ready - kit" which means all connections and the tool frame for an NOVA 2040dry system are available on customer site. Each measurent system needs to be able to fit to this frame and communication connections. Integrated Measurement System CMP04

Vergabe-Status

Vergabe-Status: Vergabeergebnis liegt uns nicht vor

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