Hochvakuum-Beschichtungssystem
KI Die Universität Siegen sucht ein Hochvakuum-Beschichtungssystem.
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. · Dresden · Sachsen · Öffentliches Unternehmen (Bund)
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Auftragnehmer
Hinweis: Nicht alle Kerndaten wurden publiziert — die Vergabestelle hat diese Bekanntmachung ohne Vertragswert veröffentlicht.
KI-generierte Zusammenfassung der Bekanntmachung (KI-Transparenz) — maßgeblich ist die Original-Bekanntmachung.
The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2.
Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer:
Place of usage:
(ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment.
documentation
Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden
body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom
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Criteria in accordance with Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
Evaluation price according to Annex 01A
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
eu-funds
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
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KI Gegenstand ist die Lieferung motorisierter Rotations- und Translationstische für die automatisierte und präzise Synchronisation, Präparierung und Messung von Einzelphotonen sowie mehreren verschränkten Photonen, ausgeschrieben als Lieferleistung im offenen Verfahren durch die Universität Stuttgart.
KI Beschaffung eines automatisierten Wägesystems zur gravimetrischen Bestimmung von Feinstaubkonzentrationen auf Filterproben.
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