Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. · Dresden · Sachsen · Öffentliches Unternehmen (Bund)
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Kostenlos beobachten →The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2.
Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer:
Place of usage:
(ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment.
documentation
Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden
body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom
Branche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Ausschreibung für eine Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Anlage für Silizium-Fluorchemie.
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Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
Criteria in accordance with Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
Evaluation price according to Annex 01A
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Hier wurden Nachweise zu Technische & berufliche Leistungsfähigkeit verlangt. Für diese Ausschreibung ist die Frist vorbei — mit einem kostenlosen Suchprofil bekommen Sie vergleichbare Ausschreibungen am Tag der Veröffentlichung per E-Mail, statt sie Wochen später über eine Suchmaschine zu finden.
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Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
Der Auftraggeber darf fehlende, unvollständige oder fehlerhafte Unterlagen nachfordern (§ 56 VgV).
eu-funds
Legal remedies pursuant to Section 160 GWB: 1) The public procurement chamber shall only initiate a review procedure upon application; 2) Any company that has an interest in the public contract or concession is authorized to apply and asserts an infringement of its rights pursuant to Section 97 (6) GWB due to non-compliance with procurement regulations. It must be shown that the company has suffered or is at risk of suffering damage as a result of the alleged breach of the procurement regulations; 3) The application is inadmissible if: (1) The applicant has recognized the alleged breach of procurement regulations before submitting the application for review and has not notified the contracting authority of this within a period of 10 calendar days; the expiry of the deadline pursuant to Section 134 (2) GWB remains unaffected, (2) violations of procurement regulations that are recognizable on the basis of the contract notice are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application or submission of tenders specified in the contract notice at the latest, (3) violations of procurement regulations that are only recognizable in the procurement documents are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application or submission of tenders at the latest, (4) more than 15 calendar days have passed since receipt of the notification from the contracting authority that it does not intend to remedy a complaint. Sentence 1 shall not apply to an application for a declaration of invalidity of the contract pursuant to Section 135 (1) No. 2.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
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