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Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten
Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle · Ilmenau · Thüringen · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
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Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage zur Charakterisierung von Proben mit Hilfe der elektronenstrahlbasierten Abbildung verwendet werden, welche sowohl in situ (während der Strukturierung) als auch vor/nach der Strukturierung möglich ist. Dies erfolgt in der gesamten Technologiekette.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Bildung & Forschung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Plasma-FIB (PFIB) zur kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert erstellt (Google Gemini) — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung
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Anforderungen an Bieter (Eignung)
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
Befähigung zur Berufsausübung
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Eintragung Berufsregister
Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt A. ImFormblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“
Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit
-
Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit
- (M1) Erklärung, dass sich das Unternehmen weder in Liquidation befindet, noch dass über das Vermögen des Unternehmens das Insolvenz- bzw. Vergleichsverfahren eröffnet oder die Eröffnung beantragt worden ist - (M2) Auszug aus dem Handelsregister/Gewerbezentralregister (nicht älter als 3 Monate), - (M3) Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes, der Krankenkassen, der Sozialversicherungsträger, der Berufsgenossenschaften und der Haftpflichtversicherung.
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Durchschnittlicher Jahresumsatz
Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ - durchschnittlicher Jahresumsatz der letzten 3 Jahre
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Gesamtjahresumsatz
Bewertungskriterien - (W1) aktuelle wirtschaftliche Gesamtsituation (Jahresgesamtumsatz) des Bieters
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Spezifischer Jahresumsatz (Auftragsbereich)
Bewertungskriterien - (W2) zum Umsatz mit PFIB-Systemen in Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren.
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Durchschnittlicher spezifischer Jahresumsatz
Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IVAbschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ - durchschnittlihcer Jahresumsatz des Wirtschaftteilnehmers in dem betreffenden Bereich der letzten 3 Jahre
Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
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Werkzeuge, Anlagen, technische Ausrüstung
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zu Ausstattung, Geräte und technischen Ausrüstungen
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Umweltmanagement-Maßnahmen
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C und D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zu Umweltmanagementmaßnahmen, Bescheinigungen zur Erfüllung der Anforderungen an die Umweltmanagementsysteme oder -normen.
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Qualitätsmanagement
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C und D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ -- Angaben zu Maßnahmen zur Qualitätssicherung, Bescheinigungen zu Qualitätssicherungsnormen
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Lieferketten-Management
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zur Vertragserfüllung, Lieferkettenmanagement und Überwachungssystem
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Referenzen (vergleichbare Lieferungen)
Mindestanforderung (Ausschlusskriterium) - (M5) Angabe einer Referenz eines Projekts für die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme eines Plasma-FIB-Geräts mit Elektronensäule in den vergangenen 5 Jahren mit vergleichbarem Auftragsvolumen und ähnlicher Komplexität hinsichtlich Strukturierung und kontaminationsarmer Präparation von Materialoberflächen. Bewertungskriterien: - (T1) Nachweis einer Referenz eines Projekts für die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme eines Plasma-FIB-Geräts mit Elektronensäule in den vergangenen 5 Jahren mit vergleichbarem Auftragsvolumen und ähnlicher Komplexität hinsichtlich Strukturierung und kontaminationsarmer Präparation von Materialoberflächen. - (T2) nächstgelegener Servicestandort zum Erfüllungsort
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Referenzen (vergleichbare Lieferungen)
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung “ - Angaben zu Lieferungen und Dienstleistungen der genannten Art (dem Auftragsgegenstand vergleichbare Leistungen)
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Ausbildungs-/Berufsqualifikation des Personals
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zu Ausbildungsnachweisen oder Bescheinigungen über die berufliche Befähigung (Dienstleister oder Unternehmen selbst oder seiner Führungskräfte)
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Technische Fachkräfte (Ausführung)
- (M4) Eigenerklärung mit der Angabe der Anzahl der technischen Fachkräfte im Bereich der Forschung & Entwicklung und des Supports.
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Technische Fachkräfte (Ausführung)
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung “ - Angaben zu technischen Fachkräften oder technischen Stellen
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Durchschnittliche Personalstärke
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zu den durchschnittlichen jährlichen Beschäftigtenzahlen in den letzten 3 Jahren
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Anzahl Führungskräfte (Jahresdurchschnitt)
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zu der Zahl seiner Führungskräfte in den letzten 3 Jahren
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Nachunternehmer-Anteil
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“- Angaben zur Unterauftragsvergabe
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Solche Anforderungen kommen wieder
Hier wurden Nachweise zu Befähigung zur Berufsausübung, Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit verlangt. Für diese Ausschreibung ist die Frist vorbei — mit einem kostenlosen Suchprofil bekommen Sie vergleichbare Ausschreibungen am Tag der Veröffentlichung per E-Mail, statt sie Wochen später über eine Suchmaschine zu finden.
Mit der Anmeldung akzeptieren Sie unsere AGB und bestätigen, die Datenschutzerklärung zur Kenntnis genommen zu haben. AusschreibungsRadar richtet sich ausschließlich an Unternehmer im Sinne von § 14 BGB.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
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Nachforderung teilweise möglich
Bestimmte fehlende Unterlagen dürfen nachgefordert werden — nicht alle.
- Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
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EU-gefördertes Vorhaben
eu-funds
Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht
entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Angebote werden eingeholt
2 Veröffentlichungen
- Frist 24.06.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
- 12.05.2025 Original-Veröffentlichung
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Vergabeergebnis
Auftrag wurde zugeschlagen · 118 Tage nach Fristende
Auftragnehmer FEI Deutschland GmbHZuschlagswert 1.155.000 €1 Veröffentlichung
Preiseinschätzung
Basierend auf 86 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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