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Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten
Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle · Ilmenau · Thüringen · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
Vergabe-Ergebnis
FEI Deutschland GmbH
Auftragnehmer
Bieter-Übersicht: 2 Angebote eingegangen, 1 Bieter namentlich publiziert — im Vergabeergebnis werden üblicherweise nur die Auftragnehmer genannt.
Beschreibung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage zur Charakterisierung von Proben mit Hilfe der elektronenstrahlbasierten Abbildung verwendet werden, welche sowohl in situ (während der Strukturierung) als auch vor/nach der Strukturierung möglich ist. Dies erfolgt in der gesamten Technologiekette.
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Vergabe- & Vertragsbedingungen
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EU-gefördertes Vorhaben
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Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht
entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Eingegangene Angebote
Dies sind die je Los eingegangenen Angebotswerte. Wer den Zuschlag erhalten hat, steht im Vergabe-Ergebnis oben bzw. im Vergabe-Status (Sidebar) — die einzelnen Angebote sind in der Bekanntmachung jedoch keinem namentlichen Bieter zugeordnet.
Verfahrensverlauf
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Ausschreibung
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2 Veröffentlichungen
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Auftrag wurde zugeschlagen · 118 Tage nach Fristende
Auftragnehmer FEI Deutschland GmbHZuschlagswert 1.155.000 €1 Veröffentlichung
- 20.10.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
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