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komplementärer Atomlagendepositions- und Atomlagenätz- Anlagen
Branche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Beschaffung von komplementären Atomlagendepositions- und Atomlagenätz-Anlagen für die Universität Siegen.
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In nahezu jeder Prozessabfolge werden das ALD und das ALE/RIE System sequenziell nacheinander angewendet. Um diese verwandten Prozesse vollständig einheitlich und nutzerfreundlich zu gestalten, müssen die Systeme auf kompatiblen Software- und Bedienkonzepten basieren. Das System enthält eine patentierte und notwendige Plasmaquelle (EP 3 794 628 B1, Internationale Publikationsnummer: WO 2020/070482), die durch die spezielle Array Anordnung der vertikalen Elektroden das notwendige Plasma homogenverteilt oberhalb des Substrates erzeugt mit minimalinvasivem Einfluss auf das Zielsubstrat. Es muss minimale Defektdichte und Substratbeeinflussung, bei gleichzeitig maximaler Schichtqualität, Schichthomogenität (200 mm Wafer: +/-1,5 % Al2O3, +/-3 % TiO2, 1,5 % HfO2) und sehr hohe Abscheideraten von >200 nm/h (Al2O3), > 45 nm/h (TiO2) und > 78 nm/h (HfO2) gewährleistet werden.
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
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1 Veröffentlichung
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Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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