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Deposition Tool 8 Inch
Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM · Garching · Bayern · Anstalt des öffentlichen Rechts (Land)
Angebote bis 05.10.2026, 12:01 Uhr (noch 26 Tage)
Beschreibung
The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Das Wichtigste auf einen Blick
- Beschaffung eines UHV-Cluster-Systems für die Herstellung supraleitender Schaltungen auf 8-Zoll-Wafern.
- Das System muss eine HV-Schleuse, eine zentrale Handhabungskammer und spezifische UHV-Kammern für verschiedene Prozesse beinhalten.
- Besondere Anforderungen sind die beidseitige Metallisierung in situ und die Minimierung von Partikelkontamination auf der Rückseite.
- Die Wafer dürfen nur an der Seite (Randgreifen) berührt werden.
Die Technische Universität München sucht ein UHV-Cluster-System zur Herstellung supraleitender Schaltungen auf 8-Zoll-Wafern.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert erstellt (Google Gemini) — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Qualität nach Wichtigkeit
Siehe Vergabeunterlagen
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
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Nachforderung teilweise möglich
Bestimmte fehlende Unterlagen dürfen nachgefordert werden — nicht alle.
- Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
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Besondere Bedingungen für die Auftragsausführung
Der Auftrag ist an zusätzliche Ausführungsbedingungen geknüpft (§ 128 GWB) — Details in den Vergabeunterlagen.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Vergabeergebnis
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Preiseinschätzung
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