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Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Erlangen · Bayern · Öffentliches Unternehmen
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Beschreibung
The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Bildung & Forschung
Gegenstand ist die Beschaffung eines Clustertool für Ionenstrahl-Ätzprozesse zur 300mm-Waferfertigung am Fraunhofer IPMS.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Qualitätskriterium 65 Pkt.Qualität
Technische Ausführung
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Preiskriterium 35 Pkt.Preis
Preis
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Anforderungen an Bieter (Eignung)
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit
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Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit
1_C_Eigenerklärung_Russland-Sanktionen_VO 833-2014_08.25 or 1_C_Self-declaration_Sanctions on Russia_VO 833-2014_08.25
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Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit
1_C_Selfdeclaration (123-124 GWB)
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Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit
Firmenprofil / Profile of your company Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. Firmenprofil / Profile of your company Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. *** ENGLISH *** Presentation of the company: Minimum information: - Year of foundation - Important milestones of the company - Number of employees - what is produced/what services are provided --> Please provide all information in text form, NO links or images.
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Gesamtjahresumsatz
Umsatz der letzten 3 Jahre Turnover for the last 3 years Ist ein Unternehmen, das sich neu am Markt befindet, nicht in der Lage, die Zahlen für alle geforderten Geschäftsjahre anzugeben, so hat es dies begründet anzuzeigen. Soweit möglich ist ein geeigneter Nachweis zur Neugründung beizufügen. Die Zahlen zum Umsatz sind in diesem Fall ab dem Zeitpunkt der Gründung des Unternehmens anzugeben. --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. English: If a company that is new to the market is unable to provide figures for all the required financial years, it must provide a reasoned explanation. Where possible, suitable evidence of the new establishment must be enclosed. In this case, the turnover figures must be provided from the date of the company's establishment --> Please provide all information in text form, NO links or images.
Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
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Referenzen (vergleichbare Bauleistungen)
Referenzen / References Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung), nicht älter als drei Jahre ***ACHTUNG***: Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen die Vergleichbarkeit der Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung. --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. *** ENGLISH *** Reference of at least 3 comparable projects, not older than three years (min. information: name of client, contact person incl. contact details). *** ATTENTION *** If for data protection reasons, you are not allowed to name your contact persons, please categorize your client (research, industry, other public contractors). --> Please provide all information in text form, NO links or images.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Erfüllen Sie diese Anforderungen?
Diese Ausschreibung verlangt Nachweise zu Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit. Mit einem kostenlosen Firmenprofil prüfen wir Ihre Eignung gegen diese Anforderungen — und gegen jede neue Ausschreibung. 14 Tage voller Zugang, keine Kreditkarte.
Mit der Anmeldung akzeptieren Sie unsere AGB und bestätigen, die Datenschutzerklärung zur Kenntnis genommen zu haben. AusschreibungsRadar richtet sich ausschließlich an Unternehmer im Sinne von § 14 BGB.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
- Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
1 Veröffentlichung
- Frist 20.03.2026 Original-Veröffentlichung aktuell
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Wertung
Angebote werden geprüft
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Vergabeergebnis
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Preiseinschätzung
Basierend auf 48 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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