Sputtercluster
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · Köln · Nordrhein-Westfalen
Beschreibung
Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung beinhaltet eine Kombi-Gerät mit Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage (ion beam etching IBE). Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
KI-Eignungsanalyse
Branche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Beschaffung von Sputteranlagen für die Mikrostrukturierung im Reinraum, inklusive Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage.
Preiseinschätzung
Basierend auf 112 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
Bieter und Preise
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Verfahrensverlauf
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Auftrag wurde zugeschlagen
Zuschlagswert 0 €5 Veröffentlichungen
- 30.07.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
- 26.06.2025 Original-Veröffentlichung
- 26.06.2025 Original-Veröffentlichung
- 06.06.2025 Original-Veröffentlichung
- 06.06.2025 Original-Veröffentlichung
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