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IZHH Laborausrüstung | Aufdampf-Anlage
Deutsches Zentrum für Luft-und Raumfahrt e.V. · Köln · Nordrhein-Westfalen · Nachgeordnete Behörde
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Beschreibung
Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung dielektrischer Schichten wird eine Anlage zur plasmaunterstützen chemischen Gasphasenabscheidung (plasma-enhanced chemical vapor deposition PECVD) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen amorphe SiO2, SiNx, Si und SiC Schichten auf 150 mm Wafern abgeschieden werden.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Beschaffung einer Aufdampf-Anlage für die Herstellung von Quantentechnologien im Reinraum.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung
„Zweistufiges Verfahren: 1. Stufe Teilnahmewettbewerb 2. Stufe Angebotsphase und Verhandlungen“
Mindestens 3 Bewerber
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
1 Veröffentlichung
- 22.12.2023 Original-Veröffentlichung aktuell
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Wertung
nach Angebotsabgabe
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Vergabeergebnis
Vergabeergebnis noch nicht veröffentlicht
Preiseinschätzung
Basierend auf 1.134 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
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