IZHH Laborausrüstung | Aufdampf-Anlage

Stammdaten

Auftraggeber

Deutsches Zentrum für Luft-und Raumfahrt e.V., Köln

Veröffentlicht

22.12.2023

Notice-Typ

Ausschreibung

Verfahrensart

Verhandlungsvergabe mit Teilnahmewettbewerb (UVgO)

CPV-Code

38000000 — Labor-, optische und Präzisionsgeräte

Branche

Gesundheitswesen & Medizintechnik

Rechtsgrundlage

EU-Oberschwelle

KMU-geeignet

Ja (laut Auftraggeber-Angabe)

Beschreibung

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung dielektrischer Schichten wird eine Anlage zur plasmaunterstützen chemischen Gasphasenabscheidung (plasma-enhanced chemical vapor deposition PECVD) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen amorphe SiO2, SiNx, Si und SiC Schichten auf 150 mm Wafern abgeschieden werden.

Vergabe-Status

Vergabe-Status

Vergabeergebnis liegt uns nicht vor

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer des Bundes, Bonn

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.