AusschreibungsRadar

Stammdaten

Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München
Bezugsberechtigte: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Veröffentlicht: 29.07.2025
Notice-Typ: Vergabeergebnis
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
CPV-Code: 31712330 — Elektrische Ausrüstung
Branche: IT & Digitalisierung
Rechtsgrundlage: EU-Oberschwelle

Beschreibung

The required cluster tool should include a loadlock and a handler, three separate process chambers for ALE/ICP/RIE (Atomic Layer Etching/Inductively Coupled Plasma/Reactive Ion Etching), ALD (Atomic Layer Deposition), and ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). After etching the InP, In(Al)GaAsP, and In(Al)GaAs layers on 3" to 6" wafers in the ALE/ICP/RIE chamber, these should be transferred under high vacuum to one of the coating chambers. The ALD chamber should allow for coating with SiNx, SiO2, Al2O3, and TiO2, while the ICP-PECVD chamber should support SiNx and SiO2.

Vertragslaufzeit

Beginn: 19.10.2026
Ende: 23.10.2026

Vergabe-Status

Auftragnehmer: Oxford Instruments
Vertragsabschluss: 29.07.2025

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammern des Bundes, Bonn

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.

Bieter (1)

Oxford Instruments (Wiesbaden)

Hinweis zur Verwendung: Dieser Auszug fasst die zum Erstellungszeitpunkt verfügbaren Daten zur Vergabe zusammen. Quelle der Daten ist oeffentlichevergabe.de (Beschaffungsamt des BMI), vermittelt durch AusschreibungsRadar. Der Auszug ist eine unverbindliche Aufbereitung öffentlich zugänglicher Bekanntmachungen und keine Urkunde im Sinne der ZPO. Für rechtsverbindliche Zwecke ist immer die Original-Bekanntmachung unter dem oben angegebenen Permalink heranzuziehen. Daten können sich nach dem Erstellungszeitpunkt geändert haben (Folgeversionen, Stornierungen, Korrekturen).