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Beschaffung eines Upgrades von ELPHY Quantum auf ELPHY Plus

Universität Siegen · Siegen · Nordrhein-Westfalen

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Beschreibung

Das am Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF) betriebene Lithographie-Anbau-Kit ELPHY Quantum von Raith wird derzeit im Helios NanoLab 600 SEM/FIB-System der Universität Siegen eingesetzt und dient der Strukturierung von elektronenstrahlempfindlichem Lack im nanoskaligen Bereich. Es ist vorgesehen, dieses Kit für den Betrieb an einem der neuen, von der DFG-geförderten SEM/FIB-Systeme von Thermo Fisher, welche in dem neuen Forschungsgebäude INCYTE der Universität Siegen betrieben werden sollen, auf ELPHY Plus aufzurüsten. Die Elektronenstrahl-Lithografie-Funktionalität in Form von ELPHY Plus steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung.

Branche: IT & Digitalisierung

Die Universität Siegen beabsichtigt die Beschaffung eines Upgrades von ELPHY Quantum auf ELPHY Plus für ein Lithographie-Anbau-Kit.

Dieses dient der nanoskaligen Strukturierung und soll an neuen SEM/FIB-Systemen betrieben werden. Die Ausschreibung richtet sich an Anbieter, die die notwendige Expertise und die technischen Komponenten für dieses spezifische Upgrade bereitstellen können.

Weitere Eignungskriterien: Details in der vollständigen Analyse.

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Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de. Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

Preiseinschätzung

Unteres Quartil 171.806 €

Median 368.998 €

Oberes Quartil 682.250 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Geplante Direktvergabe (VEAT) — 10 Tage Stillhaltefrist
1 Veröffentlichung
- 27.02.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
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1 Veröffentlichung
- 17.03.2025 Original-Veröffentlichung