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DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München · Bayern

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Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., München

Beschreibung

1 Stück DRIE etch cluster (Mainframe+3 Kammern): IPMS-MRS07.1: Etching Mainframe IPMS-MRS07.2: DRIE etching chamber (Kammer1 für tiefes Silizium-Ätzen) IPMS-MRS08.1: Etching module, das in den Mainframe MRS07 integriert wird (Kammer 2 für das Oxid-Ätzen von dicken Hartmasken) IPMS-MRS08.2: ICP etching module, das in den Mainframe MRS07 integriert wird (Kammer 3 für Nitrid- und Poly-Si-Ätzung mit hoher Selektivität für SiO2) optionale Leistungspositionen: 5.7 Kassetten-/Wafer-Spezifikationen Verarbeitung von Quarz-Wafern gemäß den oben genannten Spezifikationen ja/nein 7.2 Erweiterte Gewährleistung Eine Verlängerung der Gewährleistung um weitere 12 Monate sollte angeboten werden. Während der Gewährleistungszeit sind alle Support-, Reparatur- und Ersatzteilkosten kostenlos. ja/nein 8.7 Mainframe DRIE-Cluster Bevorzugte Liftpin-Positionen (siehe Blatt Liftpin-Positionen) eine der drei angegebenen Konfigurationen ja/nein 12.2 Werkzeugabnahme Der Werkzeugkauf beinhaltet eine Abnahmeprüfung und eine Prozess- und Wartungsschulung für mindestens zwei Prozessingenieure und zwei Hardware-Ingenieure. ja/nein

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KI-Eignungsanalyse

KI-generiert

Branche: Sonstiges

Das Wichtigste auf einen Blick

  • Beschaffung eines DRIE-Ätzclusters mit Mainframe und drei spezialisierten Ätzkammern.
  • Optionale Leistungen umfassen Quarz-Wafer-Verarbeitung, erweiterte Gewährleistung und spezifische Liftpin-Konfigurationen.
  • Die Werkzeugabnahme beinhaltet eine Prozess- und Wartungsschulung für mindestens vier Ingenieure.
  • Das Verfahren ist eine nicht-offene Verhandlungsbekanntmachung mit Teilnahmewettbewerb.

Es handelt sich um die Beschaffung eines DRIE-Ätzclusters mit Mainframe und drei Kammern für verschiedene Ätzprozesse.

Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert erstellt (Google Gemini) — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾

Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

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Zuschlagskriterien

Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.

  • Technische Ausführung 65 %
    Qualität
  • Preis 35 %

Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung Sie sind hier

    Angebote werden eingeholt

    2 Veröffentlichungen

  2. Vergabeergebnis

    Auftrag wurde zugeschlagen · 434 Tage nach Fristende

    Auftragnehmer KLA Corporation

    1 Veröffentlichung

Preiseinschätzung

Basierend auf 88 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 205.650 €
Median 349.683 €
Oberes Quartil 695.846 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Vergabeunterlagen

Beim Original-Portal — die Angebotsfrist ist abgelaufen, die Unterlagen sind dort ggf. nicht mehr hinterlegt.

Stammdaten
Angebotsfrist 12.05.2025, 10:00 Uhr (abgelaufen)
Vergabenummer PR882587-2480-P
Verfahrensart Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Mittel KI
Auftraggeber Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Standort München, Bayern
Veröffentlicht 11.04.2025
CPV-Code 42990000
Industrie- und Baumaschinen (Was ist das?)
Erfüllungsort Dresden
Laufzeit 23 Monate
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Nebenangebote nicht zugelassen
Alert für ähnliche Ausschreibungen
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Ø Bieter in der Branche 2.2
Methodik & Datenbasis

Historischer Durchschnitt aus 23.501 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.

Erfasste Abschluss-Meldungen 88%
Methodik & Datenbasis

Anteil der erfassten Verfahren in Sonstiges mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 2.378 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.

Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 24 Tage
Schätzwert-Abweichung -2%
KMU-Bieteranteil 31%
Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche in Bayern
Preis-Kalkulator freischalten →

Vergabeunterlagen erhalten Sie über die in der Bekanntmachung angegebene Vergabeplattform des Auftraggebers Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Oberhalb der EU-Schwellenwerte ist die elektronische Einreichung über eVergabe-Plattformen (z. B. Vergabe.NRW, DTVP, evergabe-online.de, HAD) Pflicht.

Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammern des Bundes, Bonn

Hinweis zur Zuständigkeit

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Erweiterte Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 4/5 Kernfelder

Nicht in der Bekanntmachung: Auftragswert

Zuletzt geprüft am 02.06.2026

Daten korrigieren →

Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Frist abgelaufen). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de:

Auf oeffentlichevergabe.de ansehen → Portal-Deeplink (ggf. archiviert) →

Original-Bekanntmachung

Diese Vergabe ist auch auf TED EU veröffentlicht — mit Originaldokumenten und allen Sprachfassungen:

Zur Bekanntmachung → PDF ↓

Vergabestelle

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München

✉ einkauf@zv.fraunhofer.de
☎ +49891205-0

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