Frist abgelaufen IT & Digitalisierung
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Lieferauftrag EU-Oberschwelle 2 Lose

Reactive Ion Etching (IZM-22) - PR915350-2590-P

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München · Bayern

Frist vorbei — Zuschlag ansehen · an Trymax Semiconductor Equipment BV →
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Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., München

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Beschreibung

Reactive Ion Etching (IZM-22)

KI-Eignungsanalyse

KI-generiert

Branche: IT & Digitalisierung

Das Wichtigste auf einen Blick

  • Beschaffung von zwei Systemen für reaktives Ionenätzen (RIE) für die Oberflächenvorbehandlung und Mikrostrukturherstellung.
  • Anforderungen umfassen getrennte Prozesskammern zur Vermeidung von Kreuzkontamination und eine Gleichmäßigkeit von ≤5% über 200mm-Wafer.
  • Systeme müssen Wafer von 100-200 mm Durchmesser und Dicken von 300-1200 µm bearbeiten können.
  • Pumpen (vorzugsweise Edwards) und Flüssigkeitskühlung sind als Optionen im Angebot zu berücksichtigen.

Die Ausschreibung betrifft die Beschaffung von zwei Systemen für reaktives Ionenätzen (RIE) für die Fraunhofer-Gesellschaft.

Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

Zuschlagskriterien

Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.

Los 1 · Los 1: Reactive Ion Etching (RIE) (IZM-22.1)
  • Technische Ausführung 65 %
    Qualität
  • Preis 35 %
Los 2 · Los 2: Reactive Ion Etching (RIE) (IZM-22.2)
  • Technische Auführung 65 %
    Qualität

    Technische Ausführung

  • Preis 35 %

Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung Sie sind hier

    Angebote werden eingeholt

    1 Veröffentlichung

    • Frist 23.05.2025 Original-Veröffentlichung · in TED EU + oev aktuell
  2. Vergabeergebnis

    Auftrag wurde zugeschlagen · 41 Tage nach Fristende

    Auftragnehmer Trymax Semiconductor Equipment BV

Preiseinschätzung

Basierend auf 37 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 299.976 €
Median 391.115 €
Oberes Quartil 1.096.244 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Frist abgelaufen). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de:

Original-Bekanntmachung

Diese Vergabe ist auch auf TED EU veröffentlicht — mit Originaldokumenten und allen Sprachfassungen:

Vergabestelle

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München

einkauf@zv.fraunhofer.de
+49891205-0

Stammdaten
Angebotsfrist 23.05.2025, 08:30 Uhr (abgelaufen)
Vergabenummer PR915350-2590-P
Verfahrensart Offenes Verfahren
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Mittel
Standort München, Bayern
Veröffentlicht 22.04.2025
CPV-Code 31712100
Elektrische Ausrüstung (Was ist das?)
Lose 2
Erfüllungsort Berlin
Laufzeit 15 Monate
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Nebenangebote nicht zugelassen

Ø Bieter in der Branche 3.2

Historischer Durchschnitt aus 35.344 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.


Erfasste Abschluss-Meldungen 90%

Anteil der erfassten Verfahren in IT & Digitalisierung mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 18.232 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.


Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 21 Tage
Schätzwert-Abweichung -5%
KMU-Bieteranteil 21%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche in Bayern
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Vergabeunterlagen erhalten Sie über die in der Bekanntmachung angegebene Vergabeplattform des Auftraggebers Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Oberhalb der EU-Schwellenwerte ist die elektronische Einreichung über eVergabe-Plattformen (z. B. Vergabe.NRW, DTVP, evergabe-online.de, HAD) Pflicht.

Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammern des Bundes, Bonn

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Erweiterte Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 4/5 Kernfelder

Nicht in der Bekanntmachung: Auftragswert

Zuletzt geprüft am 02.06.2026

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