Vergeben
Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
KI Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Elektrische Ausrüstung
1.052.137 €
Frist abgelaufen
Gesundheitswesen & Medizintechnik
Bürgschaft erforderlich
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Lieferauftrag
EU-Oberschwelle
Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
NaMLab gGmbH · Dresden · Sachsen · Nachgeordnete Behörde
- Angebotsfrist
- 13.06.2025, 13:00 Uhr
- abgelaufen
- Geschätzter Wert
- 1.096.244 €
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Veröffentlicht
- 08.05.2025
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Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer neuen, nicht gebrauchten Zwei-Ionen-Strahl-Sputter-Prozessanlage engl. Dual Ion Beam Sputter System (DIBS), im Folgenden als die Prozessanlage bezeichnet. Die Prozessanlage soll für folgende Prozesse zur Erforschung von Materialien und mikroelektronischer Bauelemente genutzt werden: 1) die Abscheidung von hochwertigen, dichten, metallischen und nichtmetallischen dünnen Schichten von einem Materialtarget in einer Vakuumprozesskammer; 2) die Abscheidung dieser dünnen Schichten soll sowohl in einer nicht reaktiven als auch in einer reaktiven Atmosphäre durchführbar sein; 3) die Durchführung von Vorreinigungs- und Ionenstrahl-Ätzprozessen soll möglich sein. Die Prozessanlage wird im Zusammenhang mit der Herstellung von mikro- und nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt, so dass die Prozessanlage auch Wafer aus z.B. Silizium, GaN und SiC mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bearbeiten können muss. Die Anlage soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.
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KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Das Wichtigste auf einen Blick
- Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Dual Beam Sputter Systems (DIBS).
- Anlage muss für die Abscheidung und Ätzprozesse von dünnen Schichten auf Wafern bis 200 mm Durchmesser geeignet sein.
- Einsatz im Reinraum der ISO-Klasse 6 mit entsprechenden Partikelanforderungen.
- Auftraggeber ist die NaMLab gGmbH in Dresden.
Gesucht wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Dual Beam Sputter Systems (DIBS) zur Erforschung von Materialien und mikroelektronischen Bauelementen.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert von einem KI-Modell erstellt — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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Barrierefreiheit
- Barrierefreiheit berücksichtigt
Grenzüberschreitendes Recht
EU Richtlinien
Anforderungen an Bieter (Eignung)
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
Befähigung zur Berufsausübung
-
Eintragung Handelsregister
Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit
-
Berufshaftpflichtversicherung
Eigenerklärung muss unterschrieben werden.
-
Finanzkennzahlen (Bilanz)
Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
-
Referenzen (vergleichbare Lieferungen)
Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Solche Anforderungen kommen wieder
Hier wurden Nachweise zu Befähigung zur Berufsausübung, Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit verlangt. Für diese Ausschreibung ist die Frist vorbei — mit einem kostenlosen Suchprofil bekommen Sie vergleichbare Ausschreibungen am Tag der Veröffentlichung per E-Mail, statt sie Wochen später über eine Suchmaschine zu finden.
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Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
-
Nachforderung fehlender Unterlagen möglich
Der Auftraggeber darf fehlende, unvollständige oder fehlerhafte Unterlagen nachfordern (§ 56 VgV).
- Elektronische Rechnung (eRechnung) zugelassen
-
EU-gefördertes Vorhaben
eu-funds
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
2 Veröffentlichungen
- Frist 13.06.2025 Original-Veröffentlichung · in TED EU + oev aktuell
- 11.04.2025 Auch in oeffentlichevergabe.de publiziert
-
Vergabeergebnis
Auftrag wurde zugeschlagen · 59 Tage nach Fristende
Auftragnehmer scia Systems GmbHZuschlagswert 1.096.244 €1 Veröffentlichung
Preiseinschätzung
Basierend auf 42 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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