AusschreibungsRadar — Verfahrensauszug

Erstellt am 17.06.2026 06:31 · Quelle: https://ausschreibungsradar.com/ausschreibung/ted-401361-2026/

Vorinformation – Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für Halbleiterprozesse

Notice-ID: ted-401361-2026

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Stammdaten

Auftraggeber
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Veröffentlicht
11.06.2026
Notice-Typ
Vorinformation
CPV-Code
38000000 — Labor-, optische und Präzisionsgeräte
Branche
Gesundheitswesen & Medizintechnik
Geschätzter Wert
1.386.000 €

Beschreibung

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems zur Metallabscheidung auf Halbleitersubstraten bis 200 mm. Die Anlage dient der Herstellung von metallischen Schichten für mikro- und nanoelektronische Anwendungen.

Verfahrensverlauf — alle 2 Veröffentlichungen

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